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沈陽芯源公司“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機(jī)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”獲評遼寧省科技進(jìn)步一等獎

日前，遼寧省人民政府發(fā)布了關(guān)于2019年度遼寧省科學(xué)技術(shù)獎勵的決定。沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司提報的“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機(jī)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”被評為遼寧省科技進(jìn)步一等獎。

芯源微
2021-04-19

集成電路 InFO工藝

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