日前，遼寧省人民政府發(fā)布了關(guān)于2019年度遼寧省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)的決定。沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司提報(bào)的“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機(jī)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”被評為遼寧省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

該項(xiàng)目通過自主研發(fā)，突破了集成電路后道先進(jìn)封裝InFO工藝涂膠顯影設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)，并進(jìn)行集成創(chuàng)新，使設(shè)備整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平。該項(xiàng)目產(chǎn)品于2016年成功拿下臺灣市場批量訂單，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。

未來，芯源公司將不斷加大創(chuàng)新力度，為客戶提供更加優(yōu)質(zhì)可靠的產(chǎn)品，助推國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，成為受社會尊重的世界級企業(yè)!