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半導(dǎo)體制造晶圓檢測(cè)技術(shù)分析
中心議題： 晶圓自動(dòng)檢測(cè)方法 缺陷檢測(cè)管理的趨勢(shì) 在線監(jiān)測(cè)方法的技術(shù)優(yōu)勢(shì) 自從1980年代起，半導(dǎo)體制造業(yè)廣泛采用了晶圓自動(dòng)檢測(cè)方法在制造過(guò)程中檢測(cè)缺陷，以緩解工況偏差和減低總?cè)毕菝芏取１M管早期良率管理的重點(diǎn)
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QC七工具之排列圖
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