據(jù)韓媒報道，當?shù)貢r間5月25日，韓國水原地方法院軍工產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)業(yè)技術(shù)犯罪刑事法庭宣布，三星電子旗下子公司SEMES前員工A某等7人，因涉嫌將SEMES公司開發(fā)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)出售給中國企業(yè)，違反了《防止不正當競爭法》《商業(yè)機密保護法》《產(chǎn)業(yè)技術(shù)保護法》等法律，日前已被提起拘留，并移交法院起訴。

根據(jù)調(diào)查顯示，A某曾以研究員的身份在SEMES公司任職超過10年，并以“曾在SEMES任職的履歷”為招募投資方，在接受了中國企業(yè)的投資后，選址韓國天安市成立工廠，并開始制造半導(dǎo)體設(shè)備。

自2018年3月起至2021年12月，A某及團伙從合作客戶代表處盜取了設(shè)計圖紙、零件清單、藥業(yè)管道信息、操作標準、軟件等幾乎全部技術(shù)后，制成了14臺相同配置的半導(dǎo)體清洗設(shè)備，并與相關(guān)技術(shù)一同出售給了中國企業(yè)及研究機構(gòu)，從中獲取近710億韓元（約合人民幣3.7億元）的非法利益。

有媒體指出，該案件可能涉及到中國“國營半導(dǎo)體研究機構(gòu)”ICRD，即上海集成電路研發(fā)中心有限公司。

▲相關(guān)報道截圖

根據(jù)公開資料顯示，SEMES公司成立于1993年，是韓國最大的預(yù)處理半導(dǎo)體設(shè)備與顯示器制造設(shè)備生產(chǎn)商，主要從事半導(dǎo)體和FPD/LCD制造設(shè)備。目前，SEMES公司的產(chǎn)品主要包括半導(dǎo)體前道工序領(lǐng)域的清洗、Phototrack、蝕刻設(shè)備，以及后道工序的Bonder、Probe等設(shè)備。

據(jù)悉，A某及團伙盜取的半導(dǎo)體清洗設(shè)備，是SEMES公司專利技術(shù)制成的主力產(chǎn)品，在芯片制程最初階段用于清除污物。

該設(shè)備的核心技術(shù)是使用超臨界二氧化碳（即沒有明顯液化和氣化的二氧化碳）來清洗半導(dǎo)體襯底，以最大限度地在清洗過程中減少對基板的損壞。該設(shè)備可用來清洗包括硫酸在內(nèi)的高溫液體，并將傳送機器人的手臂從2只增至4只，從而可以大大提高清洗速度。

▲SEMES公司的晶圓清洗機

要知道，清洗是貫穿半導(dǎo)體制造的重要工藝，是提高芯片良率、產(chǎn)品性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。根據(jù)清洗介質(zhì)的不同，目前半導(dǎo)體清洗技術(shù)主要分為濕法清洗和干法清洗兩種。晶圓制造產(chǎn)線上通常以濕法清洗為主，其占芯片制造清洗步驟數(shù)量的90%以上。

有媒體報道稱，SEMES公司此前為研究開發(fā)這一技術(shù)投資了2188億韓元，而該設(shè)備也被認為是三星尖端半導(dǎo)體芯片技術(shù)的關(guān)鍵。

對此，有分析人士指出，此次技術(shù)泄露或?qū)?dǎo)致SEMES公司每年遭受400億韓元以上的經(jīng)濟損失。