70年代末以來，隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了與微型測量儀表封裝在一起的電容式傳感器。這種新型的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的缺點得到克服。電容式傳感器是一種用途極廣，很有發(fā)展?jié)摿Φ膫鞲衅?。典型的電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構(gòu)成。當(dāng)薄膜受壓力作用時，薄膜會發(fā)生一定的變形，因此，上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化，從而使電容發(fā)生變化。但電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系，因此，要用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償。

電容傳感器結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強 ;電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造，精度高;可以做得很小，以實現(xiàn)某些特殊的測量，電容式傳感器一般用金屬作電極，以無機材料作絕緣支承，因此可工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，能承受很大的溫度變化，承受高壓力、高沖擊、過載等;能測超高壓和低壓差。

電容傳感器動態(tài)響應(yīng)好，電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，可動部分可以做得小而薄，質(zhì)量輕，因此固有頻率高，動態(tài)響應(yīng)時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特適合于動態(tài)測量;可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)，如振動等。

電容傳感器分辨率高，由于傳感器的帶電極板間的引力極小，需要輸入能量低，所以特別適合于用來解決輸入能量低的問題，如測量極小的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力非常高，能感受0.001μm ，甚至更小的位移。

電容傳感器溫度穩(wěn)定性好，電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又由于本身發(fā)熱極小，因此影響穩(wěn)定性也極微小。

電容傳感器可實現(xiàn)非接觸測量、具有平均效應(yīng) 如回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠軸承的徑向間隙等，采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。

電容式傳感器作為一種重要的工業(yè)傳感器技術(shù)，被廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)制造過程中。

工業(yè)自動化控制

電容式傳感器在工業(yè)自動化控制中發(fā)揮著重要作用。它可以用于檢測和監(jiān)測生產(chǎn)線上的物體位置、運動狀態(tài)和精確度。通過實時采集數(shù)據(jù)并反饋給控制系統(tǒng)，電容式傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)精確的物體定位、速度控制和運動軌跡規(guī)劃，提高生產(chǎn)線的效率和質(zhì)量。

液位監(jiān)測和控制

在工業(yè)生產(chǎn)過程中，液體的準確控制和監(jiān)測是至關(guān)重要的。電容式傳感器可以用于檢測和測量液體的容量、高度和流速等參數(shù)。它可以實時監(jiān)測液體的變化，并將數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂葡到y(tǒng)中進行精確的液位控制和調(diào)節(jié)，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和安全性。

密封性檢測

在許多工業(yè)制造領(lǐng)域，密封性是一個重要的要求。電容式傳感器可以用于檢測和評估產(chǎn)品的密封性能。通過測量電容的變化，傳感器可以快速、準確地檢測出產(chǎn)品的密封程度，幫助生產(chǎn)過程中實施質(zhì)量控制和改進措施，提高產(chǎn)品的可靠性和耐用性。

振動監(jiān)測和預(yù)測維護

振動是許多工業(yè)設(shè)備故障的早期指標。電容式傳感器可以用于監(jiān)測和分析設(shè)備的振動情況。通過實時采集振動數(shù)據(jù)，并結(jié)合數(shù)據(jù)分析和故障診斷算法，可以實現(xiàn)對設(shè)備運行狀態(tài)的實時監(jiān)測和預(yù)測維護。這有助于提前發(fā)現(xiàn)潛在故障，并采取相應(yīng)的維修措施，避免生產(chǎn)中斷和損失。

電容式傳感器在工業(yè)生產(chǎn)制造中具有廣泛的領(lǐng)域和巨大的效益。它在工業(yè)自動化控制、生產(chǎn)、檢測、制造各方面應(yīng)用。