MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems)，是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。

我們?yōu)榇蠹医y(tǒng)計(jì)了一下國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)MEMS傳感器廠家：

華芯半導(dǎo)體：華芯半導(dǎo)體成立于2004年，是一家專注于MEMS傳感器和半導(dǎo)體器件研發(fā)、制造和銷售的公司。其產(chǎn)品覆蓋了汽車電子、智能手機(jī)、醫(yī)療器械、物聯(lián)網(wǎng)等多個(gè)領(lǐng)域。華芯半導(dǎo)體也是國(guó)內(nèi)最早的MEMS芯片生產(chǎn)商之一。

思嵐科技：思嵐科技成立于2007年，是一家專注于MEMS慣性傳感器、環(huán)境傳感器和磁性傳感器的研發(fā)、制造和銷售公司。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于智能家居、汽車電子、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。

深圳智瑞微電子：深圳智瑞微電子成立于2007年，在MEMS傳感器和微納系統(tǒng)領(lǐng)域擁有較為深厚的技術(shù)積累。其產(chǎn)品主要應(yīng)用于智能手機(jī)、消費(fèi)電子以及工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。

歌爾微電子：成立于2017年，是我國(guó)MEMS傳感器龍頭企業(yè)歌爾股份子公司，2019年歌爾股份啟動(dòng)分拆工作，將MEMS相關(guān)業(yè)務(wù)全部分拆到歌爾微電子，歌爾微成為歌爾體系內(nèi)唯一從事MEMS微電子相關(guān)業(yè)務(wù)的主體，并繼承歌爾股份在MEMS領(lǐng)域的市場(chǎng)地位。歌爾微電子(歌爾股份)常年位居“中國(guó)MEMS十強(qiáng)”企業(yè)名單榜首，據(jù)知名半導(dǎo)體市場(chǎng)咨詢機(jī)構(gòu)Yole Development 的《MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀報(bào)告》顯示，從2019年開始，歌爾微(歌爾股份)連續(xù)躋身全球10大MEMS廠商之列，也是前十名中唯一一家中國(guó)企業(yè)。在MEMS聲學(xué)傳感器(麥克風(fēng))領(lǐng)域，歌爾微電子于2020年超過(guò)樓氏電子成為行業(yè)第一，市場(chǎng)占有率居世界同行業(yè)之首，這是樓氏電子稱霸MEMS麥克風(fēng)15年來(lái)首次落敗。

美泰科技是中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，中國(guó)MEMS行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)單位，專門致力于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。連續(xù)多年榮獲“中國(guó)半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)”，是國(guó)內(nèi)最大的MEMS核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，中國(guó)MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。

美泰科技擁有自己的MEMS傳感器芯片產(chǎn)線，是一家IDM企業(yè)。2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過(guò)科技部組織的專家驗(yàn)收，用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬(wàn)片。

德州儀器：德州儀器是全球領(lǐng)先的模擬IC、數(shù)字信號(hào)處理器和嵌入式處理器制造商之一，也是MEMS芯片領(lǐng)域的知名企業(yè)。其產(chǎn)品主要涵蓋了慣性傳感器、環(huán)境傳感器和聲學(xué)傳感器等。

STMicroelectronics：STMicroelectronics是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體生產(chǎn)商之一，其MEMS芯片產(chǎn)品主要包括了加速度傳感器、陀螺儀、慣性導(dǎo)航系統(tǒng)和環(huán)境傳感器等。其涉及的領(lǐng)域包括智能手機(jī)、電子手表、智能家居以及汽車電子等。

NXP,恩智浦提供基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 的差異化加速度傳感器產(chǎn)品組合，以滿足汽車、醫(yī)療健康和工業(yè)領(lǐng)域日益增長(zhǎng)的需求。我們的加速度傳感器走在行業(yè)前沿，引領(lǐng)計(jì)量與節(jié)能、量化健康、安全與監(jiān)控、可穿戴設(shè)備以及家居便捷化等新興應(yīng)用。