加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程受到的力，就比如地球引力。加速力可以是個常量比如mg也可以是變量。由于采用了微機電系統(tǒng)技術(shù)，其尺寸大大的縮小了可以應用在生活、工業(yè)、軍工、航天等各種領(lǐng)域，因為MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點所以越來越多的應用在各行各業(yè)。技術(shù)成熟的MEMS加速度計分為三種：壓電式、容感式、熱感式。?壓電式MEMS加速度計運用的是壓電效應，在其內(nèi)部有一個剛體支撐的質(zhì)量塊，有運動的情況下質(zhì)量塊會產(chǎn)生壓力，剛體產(chǎn)生應變，把加速度轉(zhuǎn)變成電信號輸出。容感式MEMS加速度計內(nèi)部也存在一個質(zhì)量塊，從單個單元來看，它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質(zhì)量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。熱感式MEMS加速度計內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊，它的中央有一個加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔。

工作時在加熱體的作用下，氣體在內(nèi)部形成一個熱氣團，熱氣團的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性熱氣團的移動形成的熱場變化讓感應器感應到加速度值。?由于壓電式MEMS加速度計內(nèi)部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式MEMS加速度計只能感應到“動態(tài)”加速度，而不能感應到“靜態(tài)”加速度，也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應“動態(tài)”加速度，又能感應“靜態(tài)”加速度。

MEMS工藝技術(shù)的投資與設(shè)計創(chuàng)新相結(jié)合，大大提高了MEMS的性能，足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測應用的可行選擇。與諧振頻率高達50千赫，和噪聲密度水平下降到25μ加速度計克 √Hz的是現(xiàn)在可以對專門的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技術(shù)。信號調(diào)理電子設(shè)備的精心設(shè)計充分利用了這些新型加速度計的低布朗運動噪聲。為了評估最新的MEMS加速度計是否適用于狀態(tài)監(jiān)測應用，測量與市售的PZT型狀態(tài)監(jiān)測加速度計并行進行。為了確保兩個傳感器具有相似的質(zhì)量并受到相同的刺激，MEMS傳感器被粘附到PZT傳感器的外殼上。MEMS加速度計的單電源模擬輸出直接輸入到與PZT傳感器相同的數(shù)據(jù)記錄器的模擬輸入通道。數(shù)據(jù)采集儀器(DAQ)被用作這些實驗的采集系統(tǒng)。

MEMS加速度計(Micro-Electro-Mechanical Systems Accelerometer)是一種微型加速度傳感器，采用微納技術(shù)制造。它能夠測量物體在三個方向上的加速度，并將其轉(zhuǎn)化為電信號輸出。MEMS加速度計被廣泛應用于許多領(lǐng)域，如移動設(shè)備(如智能手機和平板電腦)、汽車安全系統(tǒng)、運動追蹤器等。

MEMS加速度計基于微機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造，利用微小的物理結(jié)構(gòu)來感知和測量加速度。下面將介紹兩種常見的MEMS加速度計工作原理：壓電效應和電容效應。壓電式MEMS加速度計利用壓電材料的特性。壓電材料具有特定的晶格結(jié)構(gòu)，在受到外力(例如加速度)作用時會產(chǎn)生電荷的極化。該極化電荷可以通過電極收集，并轉(zhuǎn)換為電信號。壓電式MEMS加速度計通常由一個靜電質(zhì)量塊(mass)和一對壓電材料構(gòu)成。當傳感器受到加速度作用時，靜電質(zhì)量塊會發(fā)生相對于傳感器結(jié)構(gòu)的位移。位移導致壓電材料被壓縮或拉伸，從而產(chǎn)生極化電荷。這些電荷通過電極收集，并轉(zhuǎn)化為電壓信號。

電容式MEMS加速度計利用電容效應來測量加速度。它由一個固定平板和一個可移動平板組成，兩者之間形成一個微小的電容。當傳感器受到加速度作用時，可移動平板會發(fā)生相對于固定平板的位移，改變了電容間的距離。當位移發(fā)生時，電容值也會隨之變化。通過測量電容的變化，就可以推斷出物體所受的加速度。通常，電容式MEMS加速度計采用差分電容模式，即通過比較受力平板與參考平板間的差異來測量加速度。

MEMS加速度計基于微機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造，主要利用兩種工作原理：?壓電效應?和?電容效應?。

?壓電效應?：利用壓電材料的特性，當傳感器受到加速度作用時，壓電材料會產(chǎn)生極化電荷，這些電荷通過電極收集并轉(zhuǎn)化為電信號?。

?電容效應?：通過測量電容的變化來感知加速度。當傳感器受到加速度作用時，可移動平板發(fā)生位移，改變電容值，從而測量加速度?。

MEMS加速度計具有以下特點：

?體積小、重量輕?：適合嵌入各種便攜式設(shè)備中。功耗低?：適合長時間運行。?高精度?：能夠提供準確的加速度測量結(jié)果。?抗振動和抗沖擊性能好?：適用于各種惡劣環(huán)境條件?。

MEMS加速度計在多個領(lǐng)域有廣泛應用：?移動設(shè)備?：如智能手機、平板電腦和手持游戲機，用于自動旋轉(zhuǎn)屏幕、運動感應游戲、步數(shù)計數(shù)器等功能?。?汽車安全系統(tǒng)?：檢測車輛碰撞或急剎車等情況?。?運動追蹤器?：用于高強度沖擊感應和運動追蹤?。