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[導(dǎo)讀]陶瓷具有高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和震動的功能。陶瓷的熱穩(wěn)定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40℃~135℃,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電器絕緣程度大于2KV,輸出信號強(qiáng),長期穩(wěn)定性好。

陶瓷具有高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和震動的功能。陶瓷的熱穩(wěn)定性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40℃~135℃,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電器絕緣程度大于2KV,輸出信號強(qiáng),長期穩(wěn)定性好。高特性、低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向,在歐美國家有全面替代其他類型傳感器的趨勢,在中國越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。

抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面、室膜片的表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個惠斯通電橋,由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個與壓力成正比的高度線性,與激勵電壓成正比的電壓信號,標(biāo)準(zhǔn)的信號根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0、3.0、3.3MV等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過激光標(biāo)定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補(bǔ)償0℃~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。

陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)與力敏Z-元件的優(yōu)勢互補(bǔ)。厚膜壓力傳感器是繼擴(kuò)散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術(shù)創(chuàng)新,而力敏Z-元件是目前國內(nèi)外唯一具有數(shù)字信號輸出的敏感元件,因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的最簡單電路的巧妙結(jié)合,可以出現(xiàn)一種性能優(yōu)異、成本低廉的新型壓力傳感器。具體來說,陶瓷厚膜工藝有下述優(yōu)點。陶瓷彈性體性能優(yōu)良,平整、均勻、質(zhì)密的材料在程度范圍內(nèi)都嚴(yán)格遵循虎克定律,無塑性變形。厚膜電阻(包括高溫導(dǎo)線)能與陶瓷彈性膜片牢固地?zé)Y(jié)在一起,不需用膠進(jìn)行粘貼。這種剛性結(jié)構(gòu)蠕變小,漂移小,靜態(tài)性能穩(wěn)定,動態(tài)性能好。厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡單,易于制備。它與擴(kuò)散硅壓力傳感器相比,不需半導(dǎo)體平面工藝來形成擴(kuò)散電阻彈性膜片,大幅度減小了生產(chǎn)線的前期投入和工藝加工成本。陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)耐液體或氣體介質(zhì)的腐蝕,不需通過不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換與隔離,封裝結(jié)構(gòu)簡化,進(jìn)一步降低成本。工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比,只要微壓力不小于1KPA,原則上較高的量程也易于實現(xiàn)。工作溫度范圍寬,可達(dá)-40℃~120℃。

陶瓷厚膜力數(shù)字壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計。陶瓷厚膜力數(shù)字壓力傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體,采用95%的AL2O3瓷精加工而成,要求平整、均勻、質(zhì)密,其厚度與有效半徑視設(shè)計量程而定。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫?zé)瞥尚汀L沾赡てc瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料,通過厚膜印刷、熱燒成技術(shù)燒制在一起,形成周邊固支的感力杯狀彈性體,即在陶瓷的周邊固支部分應(yīng)形成無蠕變的剛性結(jié)構(gòu)。在陶瓷膜片上表面,即瓷杯底部,用厚膜工藝技術(shù)做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙,通過限位可防止膜片過載時因過度彎曲而破裂,形成對傳感器的抗過載保護(hù)。

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