如前所述，旋轉(zhuǎn)頭上安裝若干個(gè)吸嘴，工作時(shí)頭的整個(gè)轉(zhuǎn)盤(pán)垂直旋轉(zhuǎn)，每個(gè)吸嘴在轉(zhuǎn)到最低點(diǎn)（圓形掛鐘的六點(diǎn)鐘位置）時(shí)吸取元件。例如，環(huán)球公司的HSC閃電頭，每個(gè)頭上有30個(gè)Spindle，反應(yīng)時(shí)間55 ms，貼片速度很快，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊；在頭上有兩個(gè)OTHC相機(jī)，一個(gè)寬視野（WFOV），一個(gè)窄視野（NF0V），貼片范圍可從0201到30 mm長(zhǎng)寬的元件，并可以進(jìn)行吸嘴對(duì)中和吸嘴檢查，在貼片過(guò)程中不更換吸嘴，校準(zhǔn)也很快，貼片精度高。

旋轉(zhuǎn)式貼片頭的相關(guān)圖片如圖1、圖2和圖3所示。

圖1 旋轉(zhuǎn)式貼片頭

圖2 旋轉(zhuǎn)式貼片頭的幾個(gè)工作位置圖

圖3 旋轉(zhuǎn)式貼片頭的成像過(guò)程

光束分離器的作用是引導(dǎo)WFOV寬視野相機(jī)的軸光照到Spindle上的元件，并引導(dǎo)光返回WFOV寬視野相機(jī)。

（1）旋轉(zhuǎn)式貼片頭站位和主要功能

旋轉(zhuǎn)式貼片頭站位如圖4所示。

圖4 旋轉(zhuǎn)式貼片頭站位示意圖

（2）旋轉(zhuǎn)式貼片頭運(yùn)行和動(dòng)作順序

如圖5所示。

圖5 旋轉(zhuǎn)式貼片頭工作示意圖

①開(kāi)機(jī)和初始化。

②歸零。

·長(zhǎng)歸零（開(kāi)機(jī)后第一次歸零）：Z—PHI一送板一X/Y—角度—清除頭上元件一調(diào)節(jié)Z軸Touchdown增益一獲得z補(bǔ)償值；

·短歸零（生產(chǎn)方式歸零）：z—PHI—XlY一角度移動(dòng)到零位置—清除頭上元件—吸嘴更換一生產(chǎn)前吸嘴設(shè)定。

③生產(chǎn)前吸嘴設(shè)定：檢查產(chǎn)品需要的吸嘴一空吸嘴確認(rèn)一吸嘴更換器配置確認(rèn)一更換吸嘴一獲得z補(bǔ)償值一吸嘴尖端對(duì)中定位。

④吸嘴更換：軸移動(dòng)到1號(hào)吸嘴取下位置一更換器升起一打開(kāi)滑片一Z軸驅(qū)動(dòng)下來(lái)一關(guān)閉滑片一Z軸升起一更換器降下。

⑤取料：移動(dòng)到貼片位置一檢查X／Y在范圍內(nèi)一檢查PHI軸就位一相機(jī)工作一檢查送料器就緒一Z軸驅(qū)動(dòng)下來(lái)一真空打開(kāi)一 Touchdown接觸信號(hào)給出一Touchdown接觸或Z方向就位一觸發(fā)相機(jī)。

⑥檢查：視覺(jué)系統(tǒng)排序一準(zhǔn)備相機(jī)一向母板發(fā)送數(shù)據(jù)一圖像發(fā)給視覺(jué)系統(tǒng)一圖像處理。

⑦貼片：計(jì)算貼片位置一檢查X/Y在范圍內(nèi)一檢查PHI軸在范圍內(nèi)或就位一觸發(fā)相機(jī)一Z軸驅(qū)動(dòng)下來(lái)一吹氣打開(kāi)，真空關(guān)閉 一Touchdown接觸信號(hào)給出一Touchdown接觸一觸發(fā)相機(jī)一Z軸升起。

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