肉眼的瞄準(zhǔn)精度隨瞄準(zhǔn)方式、照度、對比度以及不同的觀測者而異，其最佳值也不過5″，這相當(dāng)于明視距離250 mm處的線量為

也就是說在最好的條件下肉眼對明視距離處物體的定位精度不大于6 gm。若在物體與眼睛間加入光學(xué)系統(tǒng)，通過光學(xué)系統(tǒng)的放大作用可提高瞄準(zhǔn)精度。設(shè)儀器要求的測量精度為&epsilon;，而從總體考慮要求儀器的瞄準(zhǔn)精度為θE(一般εM<&epsilon;)，設(shè)眼睛的瞄準(zhǔn)精度為θE則系統(tǒng)的總放大率Γ應(yīng)滿足

例如，要求儀器具有0，2pm的瞄準(zhǔn)精度，采用虛線壓單線的瞄準(zhǔn)方式(9E=20&Prime;)，則光學(xué)系統(tǒng)的放大率應(yīng)為

放大率由儀器的瞄準(zhǔn)精度所決定，但瞄準(zhǔn)精度應(yīng)與儀器的測量精度相適應(yīng)。瞄準(zhǔn)精度低，滿足不了使用要求;瞄準(zhǔn)精度過高也不合理，且會(huì)導(dǎo)致儀器結(jié)構(gòu)過于龐大。儀器的`總放大率確定后，進(jìn)一步應(yīng)決定物鏡和目鏡的放大率。一般應(yīng)考慮以下因素：

①若物鏡倍數(shù)高，則分劃板的尺寸大，應(yīng)根據(jù)儀器總體允許的結(jié)構(gòu)尺寸及刻劃工藝來合理地選取物鏡的倍數(shù)。

②低倍物鏡在結(jié)構(gòu)不太復(fù)雜時(shí)即可得到較好的像質(zhì)，而目鏡的像質(zhì)一股并不直接影響測量精度。

③系統(tǒng)的總長L≈(卩-1)J，式中J為工作距離，卩為物鏡的橫向(垂軸)放大率。從式中可以看出，當(dāng)儀器的工作距離較長時(shí)， 卩過大會(huì)使儀器的結(jié)構(gòu)過于龐大。

④目鏡的倍數(shù)高意味著目鏡的板鏡距和出瞳距小，同時(shí)對分劃板的表面粗糙度和清潔度的要求也提高。

因此在測量用的顯微鏡中，物鏡的倍數(shù)一般都較低，很少大于10倍，而目鏡的倍數(shù)一般小于15倍。