隧道磁電阻（TMR）傳感器制造商Crocus Technology等率先為生產(chǎn)應(yīng)用安裝了新的microVEGA xMR系統(tǒng)。

德國(guó)開(kāi)姆尼茨，2020年11月17日——3D-Micromac AG為一在半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療設(shè)備和電子產(chǎn)品市場(chǎng)提供激光微加工及卷對(duì)卷激光系統(tǒng)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，今日推出了首款用于磁性傳感器建構(gòu)的工業(yè)級(jí)選擇性激光退火系統(tǒng)——microVEGA? xMR。整合高度靈活的高通量工具配置和動(dòng)態(tài)光斑與可變激光能量，能兼容巨磁阻（GMR）和隧道磁阻（TMR）傳感器，并能輕松調(diào)整磁性方位、傳感器位置和尺寸，使其成為磁性傳感器生產(chǎn)的理想解決方案。

Crocus Technology為一創(chuàng)新型XtremeSense?TMR磁性傳感器的領(lǐng)先制造商，已為其位于加利福尼亞州圣克拉拉的工廠購(gòu)買(mǎi)并安裝了一臺(tái)microVEGA xMR系統(tǒng)，用于生產(chǎn)其TMR傳感器，適用在消費(fèi)電子產(chǎn)品、工業(yè)和物聯(lián)網(wǎng)（IoT）等應(yīng)用。

圖：來(lái)自3D-Micromac的microVEGA xMR選擇性激光退火系統(tǒng)

磁性傳感器市場(chǎng)的增長(zhǎng)動(dòng)力

由于智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備中的旋轉(zhuǎn)傳感器和電子羅盤(pán)等消費(fèi)電子產(chǎn)品、無(wú)刷直流電動(dòng)機(jī)的線性位置傳感器和角度傳感器等裝置，以及動(dòng)力轉(zhuǎn)向角偵測(cè)和電子節(jié)氣門(mén)控制等汽車(chē)應(yīng)用對(duì)磁傳感器的需求增加，磁性傳感器設(shè)備市場(chǎng)正經(jīng)歷強(qiáng)勁增長(zhǎng)。據(jù)市場(chǎng)研究和咨詢公司MarketsandMarkets估計(jì)，磁性傳感器市場(chǎng)規(guī)模將從2020年的43億美元增長(zhǎng)到2025年的62億美元，年復(fù)合均增長(zhǎng)率達(dá)到7.7％。*

熱退火在以往用于最大限度地提高GMR和TMR傳感器的磁阻效應(yīng)。不過(guò)，這種技術(shù)需要多個(gè)處理步驟來(lái)制作具有不同磁性方位的傳感器安裝于多芯片封裝內(nèi)或加工后采集成單片封裝。因此，我們需要新的技術(shù)來(lái)精簡(jiǎn)處理步驟，簡(jiǎn)化整體生產(chǎn)流程，以更小的封裝體積提供可擴(kuò)展性以更具成本效益的方式生產(chǎn)集成單片傳感器封裝。

Crocus Technology總裁兼首席執(zhí)行官Zack Deiri先生表示：“3D-Micromac的microVEGA xMR為我們提供了靈活而強(qiáng)大的集成磁性傳感器制作方法，使我們得以實(shí)現(xiàn)新型傳感器設(shè)計(jì)，降低生產(chǎn)成本并更快地?cái)U(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。我們要感謝3D-Micromac對(duì)此新工具提供的端到端支持，包括在安裝工具之前為我們提供工藝開(kāi)發(fā)與合同制造服務(wù)。我們期待繼續(xù)與他們進(jìn)行新技術(shù)合作。”

相較于傳統(tǒng)退火技術(shù)的優(yōu)勢(shì)

microVEGA xMR提供了若干優(yōu)勢(shì)相較于采加熱退火制造的磁性傳感器。其中包括更高的精度以支持加工較小的磁性器件結(jié)構(gòu)，使每片晶圓能夠容納更多器件，以及能夠在單一晶圓上對(duì)傳感器設(shè)置不同的參考磁化方向。該系統(tǒng)具有動(dòng)態(tài)光斑和可變激光能量，能夠選擇性加熱各個(gè)傳感器的釘扎層，以“壓印”所需要的磁性方向。磁場(chǎng)強(qiáng)度和方向可由配方進(jìn)行調(diào)整，而高溫梯度能夠確保低熱沖擊。這樣傳感器就可以直接在讀出電子器件旁邊以及在更靠近的地方加工制造出體積更小的傳感器，為晶圓騰出空間從而加工更多器件。最終結(jié)果是減少工藝步驟、簡(jiǎn)化生產(chǎn)流程、提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)更具成本效益的集成單片傳感器封裝工藝。

圖：用于3D-Micromac的microVEGA xMR選擇性激光退火系統(tǒng)的隧道磁電阻（TMR）傳感器晶圓

3D-Micromac首席執(zhí)行官Tino Petsch先生表示：“我們的microVEGA xMR系統(tǒng)代表著3D-Micromac長(zhǎng)期戰(zhàn)略的一項(xiàng)重要成就，該戰(zhàn)略以我們的工藝專業(yè)知識(shí)和應(yīng)用服務(wù)為后盾，瞄準(zhǔn)具有未來(lái)導(dǎo)向、高增長(zhǎng)潛力的創(chuàng)新產(chǎn)品市場(chǎng)。我們很高興有機(jī)會(huì)與Crocus Technology合作實(shí)施這款新產(chǎn)品的首批部署，他們能藉由我們廣泛的服務(wù)包括應(yīng)用和工藝開(kāi)發(fā)以及合同制造，加快他們的新型傳感器產(chǎn)品的量產(chǎn)速度。”

microVEGA xMR的主要特性包括：

◆ 高通量 - 高達(dá)每小時(shí)50萬(wàn)個(gè)傳感器

◆ 出色的能量均勻性 – 提升傳感器質(zhì)量

◆ 適應(yīng)最大300mm的晶圓尺寸

◆ 基于配方的靈活編程可控制所有系統(tǒng)參數(shù)，包括脈沖能量、傳感器尺寸、傳感器的間距、磁性方向和磁通量

◆ 加工精度：± 5 μm

◆ 磁場(chǎng)方向（方位）精度：± 0.010°

◆ 無(wú)耗材或產(chǎn)品專用零件

* MarketsandMarkets，“按類(lèi)型（霍爾效應(yīng)、磁阻 [AMR、GMR、TMR]、SQUID、Fluxgate）、量程（<1 微高斯、1 微高斯至 10 高斯和 >10 高斯）、應(yīng)用、最終用戶行業(yè)、區(qū)域的磁性傳感器市場(chǎng) - 到2025年的全球預(yù)測(cè)（附新冠肺炎疫情影響分析）”2020年8月

關(guān)于Crocus Technology

Crocus Technology開(kāi)發(fā)并制造基于其XtremeSense?TMR專利傳感器技術(shù)的先進(jìn)磁性傳感器。

Crocus的顛覆性磁性傳感器技術(shù)為需要高精度、高分辨率、穩(wěn)定溫度性能和低功耗的物聯(lián)網(wǎng)與智能設(shè)備、工業(yè)、消費(fèi)性產(chǎn)品、醫(yī)療和汽車(chē)電子應(yīng)用帶來(lái)了顯著進(jìn)步。Crocus公司總部位于加利福尼亞州圣克拉拉市。

關(guān)于 3D-Micromac

3D-Micromac AG創(chuàng)辦于2002年，是激光微加工領(lǐng)域的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，提供功能強(qiáng)大、用戶友好且具有卓越生產(chǎn)效率的尖端工藝。我們開(kāi)發(fā)的工藝、機(jī)器和綜合解決方案都具備最高技術(shù)水平。3D-Micromac系統(tǒng)和服務(wù)已在全球多個(gè)高科技行業(yè)成功部署，包括光伏、半導(dǎo)體、玻璃和顯示器行業(yè)、微診斷與醫(yī)療技術(shù)等。