作為全球第一光刻機供應商，荷蘭ASML(阿斯麥)今天公布了2021年第二季度財報。

當季，ASML凈銷售額40億歐元，毛利率50.9%，凈收入10億歐元，凈預訂額83億歐元，其中EUV極紫外光刻機就有49億歐元，而總的積壓訂單金額已達175億歐元。

ASML在財報中還披露，第一臺全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機系統(tǒng)已經(jīng)交付給客戶，相比之前的NXE:3400C生產(chǎn)力提高了15-20%，覆蓋率(套刻精度)提高了約30%。

不過，ASML未透露接收客戶是哪一家。

ASML還表示，正努力增加EUV光刻機在存儲行業(yè)的量產(chǎn)應用，計劃協(xié)助三個DRAM內(nèi)存芯片客戶在未來的工藝節(jié)點中導入EUV。

ASML EUV光刻機目前還是第一代產(chǎn)品，EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數(shù)值孔徑0.33，并發(fā)展了一系列型號。

最早量產(chǎn)出廠的是NXE:3400B，產(chǎn)能有限，晶圓產(chǎn)能只有125PWH，目前的出貨主力是NXE:3400C，產(chǎn)能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D產(chǎn)能進一步提升到160WPH，價格據(jù)說也達到了1.45億美元(約合人民幣9.38億元)。

第二代EUV光刻機將會是NXE:5000系列，物鏡NA提升到0.55，進一步提高光刻精度，但原計劃2023年問世，現(xiàn)在推遲到2025-2026年，而價格預計將突破3億美元。

第三季度，ASML預計凈銷售額52-54億歐元，毛利率51-53%。

EUV光刻機已經(jīng)成為芯片制造的支柱，臺積電和三星等晶圓廠這幾年不斷追逐5nm和3nm等先進工藝，本身就是EUV光刻機采購大戶，再加上現(xiàn)在這幾大晶圓廠紛紛擴產(chǎn)建廠，無疑又加大了對EUV光刻機的需求。

而現(xiàn)在除了晶圓廠等邏輯廠商之外，存儲廠商也逐漸來到光刻機采用階段，甚至與ASML簽下多年的大單。EUV光刻機的爭奪戰(zhàn)，逐漸白熱化。

晶圓廠擁抱EUV光刻機，英特爾加倍重視

多個研究表明，在三大晶圓廠中，英特爾是迄今為止購買的 EUV工具相對較少，并且尚未開始購買這些極其昂貴、交貨時間非常長、供應受限的系統(tǒng)。

據(jù)Mizuho Securities Asia Limited的一份關于ASML的報告，其預測了EUV客戶臺積電、三星、英特爾的購買情況，如下圖所示，相對來說，英特爾處于落后地位，這與其在工藝節(jié)點的落后有關。

ASML 宣布，其在 2020 年出貨了31臺EUV工具。雖然這表明 EUV 現(xiàn)已達到成熟，但仍低于其 35 臺出貨計劃。然而，未能達標的部分原因是英特爾有據(jù)可查的 7nm 延遲：這減少了 ASML四個單位的出貨量。

據(jù)了解，只有那些 7nm 或以下的晶圓廠才真正需要基于 EUV光刻機。

而英特爾在3月份宣布，將從2023年開始使用其7nm工藝制造用于客戶端PC和高端服務器(開發(fā)代號為Meteor Lake和Granite Rapids)的處理器。

英特爾將斥資 200 億美元在亞利桑那州建立兩個領先的制造工廠，這將是“EUV 能力”，這意味著他們將能夠生產(chǎn)7nm 及以下的芯片。通過引入EUV光刻技術，同時將制造外包給臺積電來爭取時間，這似乎是試圖重建公司內(nèi)部開發(fā)和制造體系的嘗試。

而在日前參加摩根大通的會議時，CEO基辛格又表示，Intel將全面擁抱EUV光刻工藝，大家能夠看到Intel對EUV工藝進行多代重大改進，也能看到晶體管級別的重大改進。這也是因為英特爾來到7nm之后，將有更多晶圓(芯片中的層)使用 EUV 進行曝光。

而目前只有十幾個最關鍵的層使用 EUV 進行曝光，這就是英特爾“全面擁抱 EUV”的意思。

臺積電和三星兩家一直在追逐先進工藝，在EUV光刻機上的布局要多于英特爾。而且臺積電和三星均將在美國建廠，這些工廠也都需要EUV光刻機。

據(jù)wccftech的報道，臺積電的潔凈室供應商江西漢唐系統(tǒng)集成有限公司在4月份發(fā)表的聲明中，提供了有關臺積電美國芯片廠設備進展的一些初步細節(jié)。該工廠將建在亞利桑那州，也是英特爾的所在地。漢唐董事長陳朝水先生概述了該工廠的合同將于7月完成，設備安裝將于明年9月開始。

fanuan System Technology是臺積電為荷蘭ASML極紫外(EUV)光刻機生產(chǎn)組件的合作伙伴，該公司也將派工程師前往亞利桑那州，預計該工廠的營收將從明年第三季度開始?？上?，這家工廠也要采購EUV光刻機。

根據(jù)臺積電上個月在其技術研討會上分享的詳細信息，該晶圓廠在全球擁有所有這些機器的一半，并負責去年所有基于 EUV 的芯片的 65%的出貨量。