MEMS壓力傳感器是基于MEMS技術(shù)和半導體集成電路制造加工技術(shù),以利用單晶硅硅片等傳統(tǒng)半導體材料制作而成的芯片作為主要組成部分,將壓強信號轉(zhuǎn)化為電學信號的壓力測量器件。MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設(shè)計技術(shù)和制造工藝,進行高精度、低成本的大批量生產(chǎn),從而為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,使壓力控制變得簡單易用和智能化。
微機電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀是一種在微米級別的尺度上集成電機和電子設(shè)備的裝置,能夠測量或保持方向。這是通過對旋轉(zhuǎn)運動的角速度進行檢測和測量實現(xiàn)的。MEMS陀螺儀的工作原理基于科里奧利(Coriolis)效應。這是一個物理現(xiàn)象,在旋轉(zhuǎn)參考系中,運動物體受到一種橫向的力,稱為科里奧利力。
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MEMS傳感器是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。除了智能手機,MEMS傳感器將會在 AR/VR、可穿戴等消費電子,智能駕駛、智能工廠、智慧物流、 智能家居、環(huán)境監(jiān)測、智慧醫(yī)療等物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域廣泛應用。
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工業(yè)以太網(wǎng)是一種專為工業(yè)控制系統(tǒng)設(shè)計的網(wǎng)絡協(xié)議,它采用以太網(wǎng)技術(shù),并借鑒了傳統(tǒng)的工業(yè)通信協(xié)議,如MODBUS、PROFINET等?;趹眉夹g(shù)的設(shè)計以實現(xiàn)工業(yè)以太網(wǎng)的使用,可以分為硬件和軟件兩個方面。本文將詳細介紹這些方面的設(shè)計和實現(xiàn)方法。
萬物互聯(lián),物聯(lián)網(wǎng)是關(guān)鍵。作為物聯(lián)網(wǎng)感知層的基礎(chǔ)和核心,傳感器尤其是MEMS傳感器,有望迎來在各領(lǐng)域的海量應用和高速發(fā)展?,F(xiàn)階段,物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展,帶動了MEMS傳感器應用場景的多元化?;谖锫?lián)網(wǎng),傳感器正加速向千行百業(yè)滲透、融合,消費電子、智能家居、汽車等新市場的到來都將為MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)帶來廣闊的市場空間。與傳統(tǒng)的機械傳感器相比,MEMS傳感器具有體積小、集成化、智能化、低成本等優(yōu)點,可以滿足物聯(lián)網(wǎng)時代對于傳感器的要求。