近期大陸半導(dǎo)體設(shè)備商包括北方微電子、上海微電子、盛美及中微半導(dǎo)體等大舉來(lái)臺(tái)搶單，盡管業(yè)者認(rèn)為大陸技術(shù)實(shí)力仍與歐美及日廠有一段距離，短期內(nèi)恐難打進(jìn)臺(tái)積電、聯(lián)電等客戶(hù)群，然隨著越來(lái)越多大陸半導(dǎo)體設(shè)備商來(lái)臺(tái)設(shè)立據(jù)點(diǎn)，并大舉來(lái)臺(tái)搶人兼搶單，相較之下，臺(tái)灣半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展遲緩，長(zhǎng)期來(lái)看恐令人憂(yōu)心。

半導(dǎo)體設(shè)備自主化是大陸打造上、中、下游一條鞭產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié)，不僅大陸半導(dǎo)體設(shè)備商紛來(lái)臺(tái)設(shè)立據(jù)點(diǎn)，更大舉來(lái)臺(tái)搶人及搶單，像是北方微電子、上海微電子、盛美半導(dǎo)體等，以及多年前曾和應(yīng)用材料(Applied Materials)、科林研發(fā)(LAM Research)打過(guò)專(zhuān)利侵權(quán)官司的中微半導(dǎo)體。

半導(dǎo)體業(yè)者指出，過(guò)去除了中微曾傳出擠進(jìn)臺(tái)積電供應(yīng)商外，多數(shù)大陸設(shè)備業(yè)者因技術(shù)實(shí)力仍大幅落后歐美及日系設(shè)備大廠，短期內(nèi)恐難打入臺(tái)積電、聯(lián)電等客戶(hù)群，至于臺(tái)灣遲未能扶植自己的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，面對(duì)大陸設(shè)備業(yè)者積極搶單，長(zhǎng)期來(lái)看將是一大隱憂(yōu)。

半導(dǎo)體業(yè)者表示，大陸全力扶植半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)政策，鼓勵(lì)半導(dǎo)體廠采用大陸本土機(jī)臺(tái)設(shè)備，多數(shù)半導(dǎo)體廠會(huì)采購(gòu)來(lái)做測(cè)試，但真正使用比重仍低，畢竟半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展技術(shù)及資金門(mén)檻高，以設(shè)備龍頭應(yīng)材為例，每年投入研發(fā)資金高達(dá)10億美元，相當(dāng)于臺(tái)灣全年的科技預(yù)算。

應(yīng)材亦認(rèn)為，大陸要培養(yǎng)設(shè)備產(chǎn)業(yè)門(mén)檻很高，包括要找對(duì)的團(tuán)隊(duì)及零組件廠配合，以及生產(chǎn)良率及品質(zhì)穩(wěn)定等，都有相當(dāng)高的門(mén)檻。另外，韓國(guó)三星電子(Samsung ElectronICs)全力拉拔韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，早已培養(yǎng)出韓國(guó)本土的設(shè)備聚落，盡管目前技術(shù)實(shí)力及在全球市占率仍落后應(yīng)材、東京威力科創(chuàng)(TEL)、科林研發(fā)等，但仍持續(xù)致力擴(kuò)大市場(chǎng)版圖。

臺(tái)灣在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過(guò)程中，雖擁有IC設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試、晶圓代工、DRAM制造等完整供應(yīng)鏈，卻唯獨(dú)在機(jī)臺(tái)設(shè)備領(lǐng)域缺席，幾乎全數(shù)依賴(lài)歐美及日系機(jī)臺(tái)設(shè)備，除了在電子束技術(shù)獨(dú)霸全球的漢微科外，臺(tái)灣在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)著墨明顯不足。

半導(dǎo)體業(yè)者指出，臺(tái)灣沒(méi)有自己的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)，主要系因臺(tái)灣晶圓代工廠和DRAM廠各自有獨(dú)特的發(fā)展軌跡，并沒(méi)有像韓國(guó)及大陸由單一集團(tuán)或政府扶植設(shè)備技術(shù)，早年臺(tái)積電和聯(lián)電茁壯過(guò)程，基于技術(shù)考量，主要與國(guó)際大廠合作。

另外，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)投資龐大，客戶(hù)每隔幾年就轉(zhuǎn)進(jìn)新制程世代，需要龐大研發(fā)資金，萬(wàn)一投入鉅資研發(fā)但客戶(hù)不買(mǎi)單，恐將形成設(shè)備供應(yīng)商的惡夢(mèng)。面對(duì)大陸拉抬半導(dǎo)體上、下游產(chǎn)業(yè)，透過(guò)團(tuán)體戰(zhàn)拉升實(shí)力，長(zhǎng)期對(duì)于臺(tái)灣影響不容忽視。