近期， 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所(以下簡稱“上海微系統(tǒng)所”)與愛發(fā)科集團(tuán)共同創(chuàng)立“先進(jìn)存儲(chǔ)器技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”。這次成立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，雙方意在尋求半導(dǎo)體先進(jìn)存儲(chǔ)領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新、推動(dòng)存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

據(jù)悉，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學(xué)研究機(jī)構(gòu)之一。值得一提的是，上海微系統(tǒng)所曾研制成功國內(nèi)第一顆基于SOI材料的0.13um工藝大規(guī)模高可靠專用集成電·ASIC芯片，應(yīng)用于北斗導(dǎo)航衛(wèi)星等國家關(guān)鍵工程。其官網(wǎng)顯示，自建國以來，上海微系統(tǒng)所獲得國家級(jí)科技獎(jiǎng)項(xiàng)46項(xiàng)、部省級(jí)347項(xiàng)，其中“甲種分離膜”技術(shù)獲國家科技進(jìn)步特等獎(jiǎng)，“高速、超高速雙極型數(shù)字集成電·”、“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”獲國家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

愛發(fā)科集團(tuán)是以在各領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的真空技術(shù)為基礎(chǔ)，以開創(chuàng)精細(xì)加工工藝為目標(biāo)的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產(chǎn)品涉及FPD、電子半導(dǎo)體、太陽能電池用的真空設(shè)備以及標(biāo)準(zhǔn)零部件、材料和真空鍍膜等業(yè)務(wù)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是半導(dǎo)體存儲(chǔ)器制造設(shè)備領(lǐng)域深耕多年，其中新型先進(jìn)半導(dǎo)體存儲(chǔ)器制造設(shè)備進(jìn)入國際領(lǐng)先存儲(chǔ)器制造廠商的供應(yīng)鏈，被選擇為主流制造設(shè)備。

除此次與上海微系統(tǒng)所合作創(chuàng)立的先進(jìn)存儲(chǔ)器技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室外，愛發(fā)科集團(tuán)已經(jīng)和中科院微電子所、西安交通大學(xué)等創(chuàng)辦聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室。