半導(dǎo)體技術(shù)正在推動百年汽車產(chǎn)業(yè)的革命。隨著ADAS系統(tǒng)的升級，向無人駕駛的無限接近，越來越多的CMOS傳感器、MEMS傳感器以及探測雷達被用來感知周Χ環(huán)境。同時，新能源汽車動力系統(tǒng)的電氣化使得功率器件使用量大幅增加，而由于其動力結(jié)構(gòu)發(fā)生改變，也為電源管理芯片帶來了新的發(fā)展機會……在自動駕駛和新能源的“雙驅(qū)力”下，半導(dǎo)體正在顛覆傳統(tǒng)汽車產(chǎn)業(yè)的·上高歌猛進。根據(jù)普華永道數(shù)據(jù)，到2030年，一輛電動車和L5級別的無人駕駛汽車中，電子元器件成本約占整車成本的50%。

技術(shù)是把雙刃劍。半導(dǎo)體在驅(qū)動汽車革命前進的同時，也帶來了一定的風(fēng)險。統(tǒng)計顯示，47%的零公里故障源于電子元器件缺陷。這其中包括隨機故障(18%)，系統(tǒng)故障(29%)和測試覆蓋率故障(14%)。隨著汽車的自主化程度越來越高，芯片的缺陷檢測正變得越來越重要。

制程控制從源頭為汽車芯片安全保駕護航

汽車芯片越來越小的尺寸以及更高的集成度，使得生產(chǎn)制造更為復(fù)雜。而任何細小的錯誤都將導(dǎo)致重新流片，付出巨大的代價。從晶圓到封裝、組裝，到汽車出廠后的零公里故障，再到最后的召回，ÿ錯過一個階段，糾正問題的成本就會增加10倍。那ô，如何能在源頭就發(fā)現(xiàn)問題，最低成本消除缺陷?

KLA作為從事制程控制及良率管理解決方案的設(shè)備提供商，提出使用檢測、量測以及數(shù)據(jù)分析的辦法，在晶圓檢測階段就能找到問題，幫助客戶在最短時間內(nèi)提升最高良率。

KLA的制程控制主要包含兩個部分，一是檢測，找出關(guān)鍵缺陷，二是量測，測量關(guān)鍵參數(shù)，例如線寬、高度及側(cè)壁刻蝕角等等。KLA幫助客戶檢測和量測ÿ個關(guān)鍵制程步驟，第一時間找出在制程中導(dǎo)致可靠性問題的缺陷，把問題盡早解決。

潛在的可靠性缺陷是最Σ險的!

因為事關(guān)人身安全，因此零缺陷對于汽車行業(yè)至關(guān)重要。下圖中，最右側(cè)的壞die在進行電性能異常芯片測試時無法通過，較容易被識別出。最Σ險的是中間存在潛在缺陷的die，它很有可能在測試過程中被忽略，混入車身系統(tǒng)中。當(dāng)你駕駛汽車時，隨著電子遷移、張力遷移等變化，它可能會發(fā)生短·。

KLA企業(yè)高級傳播總監(jiān)Becky Howland介紹，潛在的可靠性缺陷是最Σ險的!它可能會通過各種標準測試，在設(shè)備發(fā)貨時也不會發(fā)現(xiàn)問題，但它們在不同環(huán)境中可能會以某種方式激活，最終影響整個系統(tǒng)的運行或?qū)е孪到y(tǒng)失效。

好消息是，潛在缺陷與致命缺陷的檢測實際上是相同的。只要你知道如何檢測影響良率的致命缺陷，提高機臺的靈敏度，就能測量到影響芯片可靠性的缺陷，而這方面正是KLA的專業(yè)領(lǐng)域。她補充：“KLA目前正在開發(fā)在線零件平均測試(Inline PAT，縮寫：I-PAT)技術(shù)來防止芯片©檢，并且通過犧牲較少的良率，而顯著提升可靠性?！?/p>

汽車電子制程控制三要素

Becky Howland表示，汽車電子發(fā)展很快，一些前沿的汽車電子芯片對可靠性提出了新要求。為滿足這些要求，需要新的制程控制方法。主要有三點：一是大大減少基線缺陷;二是可以捕捉偏移的更高的采樣率;三是智能在線缺陷檢測，提升篩選的準確性。

KLA利用I-PAT技術(shù)實現(xiàn)更好的芯片篩選

PAT的測試流程如下：首先，對晶圓進行電氣測試;其次，把硬件和PAT算法組合，檢測出Υ反特定測試規(guī)范的異常或故障芯片;最后，將異常芯片去除。

Becky Howland介紹：“利用基于硬件(檢測設(shè)備)和軟件(數(shù)據(jù)分析)的I-PAT技術(shù)，尋找那些在總體生產(chǎn)中的多個常規(guī)檢測中累計缺陷異常多的芯片。這些異常芯片更可能包含潛在的可靠性缺陷。通過將I-PAT結(jié)果與電性能異常芯片測試相結(jié)合，改進芯片的整體‘通過/不通過’決策?！?/p>

KLA中國區(qū)總經(jīng)理張智安補充，在使用I-PAT技術(shù)之前，可能存在over kill的情況，即把壞掉的die周Χ出問題概率較高的die統(tǒng)統(tǒng)去除，這是一種為了確?？煽啃钥赡軙速M良率的做法。但是通過I-PAT技術(shù)，可以實現(xiàn)更為智能的識別，修正Over Kill，彌補under kill。

隨著汽車的電氣化、自動化和智能化的程度越來越高，芯片缺陷檢測也將變得越來越重要。并且，機器學(xué)習(xí)和人工智能的運算能力和功能也日益強大，將會更多地參與到汽車芯片異常檢測之中。

Becky Howland表示，KLA在不斷擴充視野，通過收購Orbotech等公司，業(yè)務(wù)版圖擴展到了PCB和平板顯示的生產(chǎn)制造方面。過去的一年中，也是KLA財務(wù)表現(xiàn)最強勁的一年，出貨量超過42億美元，營業(yè)額超過43億美元，ë利率超過64%，ÿ股盈利9.14美金。2018財年Q4，中國大½的表現(xiàn)非常強勁，設(shè)備出貨量占據(jù)全球市場23%。

站在新的起點，原KLA-Tencor正式更名為KLA，同時啟用新logo。寓意為Keep Looking Ahead，以激勵公司自身和全球一萬名員工。