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愛德萬測試開發(fā)出1Xnm節(jié)點電子束微影系統(tǒng)

時間：2012-11-22 06:49:00
關(guān)鍵字： 電子    節(jié)點    MEMS    SEMI   
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[導讀]全球測試領(lǐng)導大廠愛德萬測試 (Advantest)21日宣布已開發(fā)出全新電子束微影系統(tǒng)F7000，該系統(tǒng)可提供絕佳解析效能，滿足1Xnm節(jié)點測試。F7000支援多種材料、尺寸、形狀的基板，包括奈米壓印母模及晶圓，能廣泛應(yīng)用于先進

全球測試領(lǐng)導大廠愛德萬測試 (Advantest)21日宣布已開發(fā)出全新電子束微影系統(tǒng)F7000，該系統(tǒng)可提供絕佳解析效能，滿足1Xnm節(jié)點測試。F7000支援多種材料、尺寸、形狀的基板，包括奈米壓印母模及晶圓，能廣泛應(yīng)用于先進大型積體電路、光電產(chǎn)品、微機電系統(tǒng) (MEMS)及其他奈米制程。

愛德萬測試將于12月5-7日在日本千葉縣幕張國際展覽中心舉辦的SEMICON Japan國際半導體展上展出F7000。F7000預計于2014年3月底，正式上市銷售。





來源：經(jīng)濟日報

作者：zhaobin

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