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[導(dǎo)讀]今年國(guó)際半導(dǎo)體展(SEMICON Taiwan)最大的特色,就是國(guó)際大廠聯(lián)手加速18吋晶圓開發(fā)進(jìn)程,并共同合作加速3D IC的量產(chǎn),先進(jìn)設(shè)備業(yè)者SSEC(Solid State Equipment Corporation)不僅已開始提供18吋晶圓制程研發(fā)設(shè)備,

今年國(guó)際半導(dǎo)體展(SEMICON Taiwan)最大的特色,就是國(guó)際大廠聯(lián)手加速18吋晶圓開發(fā)進(jìn)程,并共同合作加速3D IC的量產(chǎn),先進(jìn)設(shè)備業(yè)者SSEC(Solid State Equipment Corporation)不僅已開始提供18吋晶圓制程研發(fā)設(shè)備,直通矽晶穿孔(TSV)先進(jìn)封裝設(shè)備也已交貨,并已獲得日月光、矽品、力成等封測(cè)廠采用。
SSEC全球營(yíng)運(yùn)總監(jiān)John Voltz表示,450mm(18吋)晶圓已是未來市場(chǎng)趨勢(shì),包括臺(tái)積電、英特爾、三星等國(guó)際半導(dǎo)體大廠,均已投入18吋晶圓設(shè)備的開發(fā),為了建立完整的生態(tài)系統(tǒng),SSEC客制化的設(shè)備,加上包括單晶圓濕制程(Single Wafer Wet Processing)等獨(dú)步全球的技術(shù),18吋晶圓制程設(shè)備已有初步開發(fā)成果,已有機(jī)臺(tái)安裝于美國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)制造聯(lián)盟(ISMI),并與世界各大廠合作開發(fā)新的制程技術(shù)
另外,SSEC在先進(jìn)封裝設(shè)備上也有所突破,尤其是即將在未來幾年導(dǎo)入量產(chǎn)的3D IC。John Voltz表示,行動(dòng)裝置核心晶片需要采用28奈米以下先進(jìn)制程,若能導(dǎo)入3D IC架構(gòu),將可在提高運(yùn)算功能同時(shí),也可有效降低功耗及縮小晶片尺寸。

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