束檢測設備廠漢微科(3658)今舉行上柜前法人說明會，總經(jīng)理招允佳指出，漢微科在電子束檢測設備的開發(fā)策略上，針對下一個晶圓制程世代領先開發(fā)，確保在新制程世代開始之前，漢微科已可供應半導體廠相應的檢測設備。招允佳強調(diào)，未來數(shù)年之內(nèi)，漢微科的產(chǎn)品藍圖相當明確，足以支撐漢微科的長期成長。

漢微科成立于2003年，主要產(chǎn)品是電子束(E-Beam)檢測設備，看準晶圓制程縮微趨勢方興未艾，傳統(tǒng)的光學(可見光與不可見光)檢測設備將不敷制程持續(xù)縮微化的晶圓場所需，因此從成立以來即鎖定電子束檢測技術(shù)持續(xù)開發(fā)。

招允佳表示，隨著半導體設計越發(fā)精密，制造難度也提高，半導體廠對于晶圓制程程序控制設備的需求也隨之提高，從90奈米開始，到65奈米、40奈米，以及目前的32奈米與28奈米，漢微科在客戶制程開發(fā)與量產(chǎn)的過程當中，給予其品質(zhì)、良率的最佳后盾。未來漢微科也將繼續(xù)往20奈米的制程設備推進，讓電子束檢測設備在晶圓廠的設備供應中持續(xù)扮演支援要角。

招允佳指出，漢微科有4成人力放在研發(fā)部門，就是要確保漢微科的設備技術(shù)要一直走在晶圓廠的量產(chǎn)制程前面。舉例而言，在2006年晶圓廠展開40奈米制程研發(fā)時，漢微科已進展到15奈米的研發(fā)，而當今晶圓廠投入14奈米制程開發(fā)，漢微科更已開始鉆研10奈米以下、甚至5奈米的檢測設備布局。

值得注意的是，過去電子束檢測設備主要是供應給晶圓廠的研發(fā)部門，作為先進制程世代的研發(fā)工具，不過隨著晶圓廠推動往2X奈米、甚至1X奈米制程縮微，只要有少許缺陷(defect)就會造成晶圓廠良率下降，前段的晶圓缺陷檢測更形重要，晶圓量產(chǎn)線上，也已浮現(xiàn)對于電子束檢測設備的需求。

為了建立競爭對手的進入門檻，招允佳表示，漢微科掌握關(guān)鍵技術(shù)的智慧財產(chǎn)權(quán)，包括在專利與商標上的布局，目前在電子束檢測設備有85%的市占率，未來還可望透過卡位各大半導體廠客戶，讓市占率獲得持續(xù)提升。

漢微科去年合并營收年增73.3%至26.78億元，獲利更成長160%至6.54億元，營收與獲利同步創(chuàng)下新高紀錄，全年EPS為10.87元；而今年Q1繳出營收9.14億元、稅后純益2.74億元，EPS 4.57元的成績單。公司內(nèi)部預期，Q2營運狀況持平Q1，下半年更將有機會優(yōu)于上半年。

目前漢微科年產(chǎn)能約達30臺機臺，今年下半年南科廠將進行擴產(chǎn)，預計明年產(chǎn)能開出，全年最大產(chǎn)能可達50臺。公司也持續(xù)開發(fā)新的檢測設備機臺，由于目前電子束檢測速度較慢，公司也在進行矩陣式電子束檢測設備的研究開發(fā)，該型設備檢測速度會是目前的倍數(shù)以上，預計2014年可以量產(chǎn)。