基于開發(fā)差異化平臺為競爭策略，加上政府政策補(bǔ)貼下，多數(shù)晶圓代工業(yè)者已經(jīng)逐步放棄在奈米級先進(jìn)制程與一線晶圓代工業(yè)者拼搏，轉(zhuǎn)而朝向特殊制程與MEMS制程投入研發(fā)。包括中芯、上海先進(jìn)、宏力、華潤上華等晶圓代工廠透過與半導(dǎo)體廠的策略合作，相繼投入MEMS產(chǎn)品研發(fā)。

中芯目前MEMS制程研發(fā)處于起步階段，亦無鎖定任何MEMS產(chǎn)品；宏力亦跨入MEMS領(lǐng)域，主攻車胎用壓力感測計；華潤上華找到合作夥伴，從2011年開始即有產(chǎn)品，2012~2014年將陸續(xù)推出胎壓感測器、MEMS紅外線感測器、加速度計、重力感測器、2軸及3軸MEMS陀螺儀、3軸加速度器等產(chǎn)品。

上海先進(jìn)亦投入MEMS技術(shù)的開發(fā)，目前與半導(dǎo)體大廠進(jìn)行長期策略合作， 2012年起接受小量訂單，未來將陸續(xù)推出3軸陀螺儀、胎壓感測器等。