MEMS元件采用了許多與電子芯片相同的制造技術(shù)，包括一系列不同應(yīng)用的傳感器與驅(qū)動器 （actuators）；這些元件并不是新發(fā)明，其歷史甚至與IC差不多，不過多年來它們一直鎖定工業(yè)、汽車等應(yīng)用領(lǐng)域，直到消費電子產(chǎn)業(yè)在智能手機、平板電腦等產(chǎn)品內(nèi)固定采用MEMS傳感器，才引爆市場對該元件的大量需求，也開創(chuàng)MEMS元件的新應(yīng)用。

MEMS傳感器、曝光傳感器等等，已迅速成為取代人類“五感”的電子元件；特別報導(dǎo)指出，MEMS市場的高成長性吸引了眾多廠商涉足或重新涉足該領(lǐng)域，而傳統(tǒng)IC產(chǎn)業(yè)的無晶圓廠業(yè)務(wù)模式，也開始對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生影響──盡管兩種產(chǎn)業(yè)的技術(shù)背景與所面臨的挑戰(zhàn)大不相同。

“能為人們提供更高生活品質(zhì)的MEMS新應(yīng)用，是最令人感到興奮的；”MEMS Industry Group管理總監(jiān)Karen Lightman表示，MEMS傳感器可針對醫(yī)療診斷與復(fù)健應(yīng)用提供監(jiān)測功能，或是在植入裝置中透過MEMS驅(qū)動器為病患投藥…MEMS可帶來的各種拯救生命、改變?nèi)藗兩畹男录夹g(shù)，可說是永無止盡。

該報告總結(jié)指出，MEMS是扮演改革推動者角色的一種技術(shù)，能把電子產(chǎn)品的消費化轉(zhuǎn)換為它所帶來的個人化；未來我們將看到MEMS元件更多樣化，以及成為在真實世界與電子領(lǐng)域之間的入口。