歐姆龍株式會社研發(fā)了一款新型“絕對壓力傳感器”，該傳感器能夠準確檢測出50cm高度范圍內(nèi)的氣壓變化。絕對壓力傳感器應用了歐姆龍核心技術之一的MEMS技術，實現(xiàn)了世界頂級水平的高精度和低電流消耗，將于2013年1月開始發(fā)售。

該絕對壓力傳感器，實現(xiàn)了CMOS回路與MEMS傳感器的工藝整合，實現(xiàn)了長3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝，更易于應用在移動電話等小型設備中。

適用于智能手機或運動計量器等機器的電池驅(qū)動部件，有利于延長電池的壽命。將該傳感器應用于運動計量器上，可以測算出上下樓梯等存在高度差的運動形式數(shù)據(jù)，解決一直以來的難題。而應用于汽車導航系統(tǒng)上，可以確保在立體停車場導航的精準度以及識別一般道路和高架路。另外，由于能測定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產(chǎn)生的氣壓變化，也可應用于安保領域。

此外，CMOS●MEMS一體化晶片也可銷售，旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求。

今后，歐姆龍將憑借獨有的MEMS技術持續(xù)為社會做貢獻。

特點

１．小型封裝：長3.8mm寬3.8mm高0.92mm。

２．小型芯片：CMOS回路與MEMS傳感器一體化，長1.9mm、寬1.9mm、厚0.5mm。

３．300～1100hPa的廣泛測量范圍

４．相對壓力精度達到相當于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa。

５．0.5~9.5μA的低電流消耗有利于延長電池壽命。

６．內(nèi)含溫度傳感器，能夠輔助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化。

７．采用I2C輸出方式，可串聯(lián)通信。

技術解說

１．檢測原理

本公司的MEMS絕對壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式，是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應，通過這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號。并且，為了測定大氣壓力變化，絕對壓力傳感器采用MEMS接合技術，將傳感器芯片的內(nèi)部進行真空密封。因此，能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值，也就是絕對壓力值。

２．技術特長

該傳感器，將本公司長年研發(fā)的各種技術功能集中在一個芯片中，包括半導體回路設計技術、CMOS工藝技術、MEMS技術、壓力傳感器、模擬增幅回路、數(shù)字處理回路、不揮發(fā)性存儲等。因此，實現(xiàn)了芯片的小型化、高機能化、耐噪性能的提升。

此外，該傳感器使用MEMS接合技術，可擴大傳感器芯片內(nèi)部的真空室容量，將傳感器的輸入動態(tài)范圍最大化。從而實現(xiàn)高精度。

３．測定結(jié)果

結(jié)果能夠達到50cm的判別。