MEMS涉及的產品領域極其豐富，大家所熟知的有MEMS加速度計、MEMS陀螺儀、MEMS麥克風、磁力計等。隨著消費電子市場的極速發(fā)展，各大廠商近年來紛紛推出各式的MEMS器件，面對當前的MEMS器件熱，編輯為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEMS器件新品來供大家認識與了解。

ADI MEMS加速度計新品系列

ADI首款MEMS加速度計ADXL350具最小與最大偏移敏感度

美商亞德諾(Analog Devices， Inc.， ADI)公司推出首款具有相對于完整溫度範圍最小/最大偏移敏感度的微機電系統(tǒng)(MEMS)加速度計 ADXL350 ，這款叁軸 MEMS 加速度計具有在X與Y軸上+/-0.31 mg/℃以及在Z軸上+/-0.49 mg/℃的最大偏移溫度敏感度，能夠保證在-40℃至+85℃的完整溫度範圍中可預期與可量化的性能。

目前市場上的MEMS加速度計通常只會設定相對于溫度的偏移敏感度，并需要隨溫度進行校正以維持精確的感測器讀數(shù)。ADXL 350相對于溫度的最小/最大偏移敏感度規(guī)格，即使是在具有寬廣溫度範圍的應用當中都能夠保證提供已知而且可量化的偏移感測器量測。此外，ADXL 350具有低雜訊密度，能夠讓設計廠商以! 低雜訊層從應用裝置獲得可以採信的量測結果。

ADXL 350提供具有13位元解析度的內建類比數(shù)位轉換功能，最低可達2 mg /LSB，而且組態(tài)可以在+/-1g/2g/4g/8g 的範圍設定。ADXL 350採用小巧佔位面積的3 mm x 4 mm x 1.2 mm、16隻接腳塑料腔層壓封裝。ADXL 350很適合使用于工業(yè)與國防工業(yè)當中的高性能應用，像是瓦斯/自來水計量表、環(huán)境監(jiān)測器、以及軍用通訊無線電等。

ADXL 350 MEMS 加速度計的主要特點包括：

相對于溫度的最小/最大偏移敏感度為+/-0.31 mg/攝氏度 X/Y軸、+/-0.49 mg/攝氏度 Z軸，保證了在完整溫度範圍中可預期與可量化的性能。

以13位元的內建A/D轉換器提供2 mg /LSB的解析度，實現(xiàn)了低于1.0°傾斜變化的量測功能。

低功率模式實現(xiàn)了以動作為基礎的智慧型電源管理，并能夠以極低的功率消耗執(zhí)行臨界感測與主動加速度量測。

ADI推出首款商用模擬三軸MEMS加速度計

ADI公司的ADXL377MEMS加速度計能夠精確測量接觸類運動及工業(yè)設備高沖擊事件中的沖擊力

Analog Devices， Inc. 最近推出業(yè)界首款商用模擬三軸高g MEMS加速度計。ADXL377可測量±200 g滿量程范圍內且無信號飽和情況下由沖擊和振動引起的高沖擊事件的加速度。該測量范圍與可連續(xù)捕捉沖擊數(shù)據的模擬輸出相結合，使ADXL377成為接觸類運動的理想傳感器，可通過檢測沖擊力來了解創(chuàng)傷性腦損傷(TBI)指標。ADXL377帶寬為1600 Hz，也非常適合用于密切監(jiān)控沖擊水平的工業(yè)設備。ADI公司的新型三軸加速度計無需對準及放置正交傳感器，可大大簡化設計。電路板空間比需要多個單軸加速度計的典型解決方案縮小了多達5倍。

在其他應用中，ADXL377三軸高g MEMS加速度計可集成到IZOD 2012 INDYCAR系列車手沖擊安全系統(tǒng)中。INDYCAR與ADI公司在ADXL377產品定義階段開展了密切合作，由此產生的器件使得INDYCAR能夠升級其通信耳機中的傳感器，據INDYCAR工程總監(jiān)Jeff Horton稱，該耳機是用來測量練習賽、計時賽和正賽中由于碰撞對車手產生的沖擊。

Horton表示：“ADI公司的新型ADXL377三軸加速度計將為我們的耳機傳感器項目錦上添花。該器件尺寸更小，大大縮短了將元件放入各車手定制耳模之前所需的生產時間，而且加速度計的位置離耳道口更近，有助于將加速度計連接至駕駛員頭部，獲得更加準確的讀數(shù)。過去，要獲得相同的數(shù)據，我們必須在每只耳朵內使用三個獨立的IC。”

ADI公司MEMS/傳感器部門副總裁兼總經理Mark Martin表示：“如今，創(chuàng)傷性腦損傷已成為運動員、工人和軍人等各行各業(yè)都會遇到的嚴重醫(yī)學問題，ADI致力于幫助客戶設計更加小巧、精確、簡單的抗沖擊系統(tǒng)。由于上述大量應用都需要極高的移動能力，因此，如果能夠在省去正交傳感器的同時降低能耗，就意味著這些電池供電設備能夠延長單次充電的續(xù)航時間。”

ADXL377 MEMS加速度計特性

• 三軸檢測

• 范圍(g)： ±200

• 功耗：300 μA(典型值)

• 單電源供電：1.8 V至3.6 V

• 抗沖擊能力：10000 g

• 小尺寸薄型封裝

• 帶寬：1600 Hz，適合工業(yè)沖擊檢測應用

ADI推出雙軸iMEMS加速度計ADXL206

Analog Devices， Inc. ADI)，全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近正式全面推出高精度、低功耗、提供信號調理的模擬電壓輸出的雙軸iMEMS®加速度計ADXL206。單芯片ADXL206的滿量程加速度測量范圍為±5 g，既能測量振動等動態(tài)加速度，也能測量重力等靜態(tài)加速度。保證的工作溫度范圍為-40°C至+175°C，具有出色的整體穩(wěn)定性，非常適合用于地質鉆探工具和其它極端高溫工業(yè)應用。

ADI公司MEMS和傳感器技術部營銷與應用經理Wayne Meyer表示：“我們沒有使用額外的溫度補償電路，而是采用創(chuàng)新的設計技術來確保從內部實現(xiàn)高性能。因此，它基本上不存在量化誤差或其它非單調性，溫度遲滯非常低，在−40°C至+175°C的整個溫度范圍內通常小于2 mg。這款產品再次彰顯了ADI公司在高性能MEMS慣性傳感器領域的領導地位。”

ADI公司儀器儀表市場營銷經理Pam Aparo表示：“一方面，設計師結合各種智能鉆探系統(tǒng)，以力求不斷深入地表，另一方面，又不得不在功耗、尺寸和空間要求與獲得更多信息之間作出權衡。ADXL206 iMEMS加速度計不僅是一款極為緊湊的解決方案，而且大幅降低了功耗，單軸功耗從10 mA以上降至0.5 mA以下。”

ADXL206 iMEMS加速度計的典型噪底為110 μg/√Hz，因而在傾斜檢測應用中，可以利用窄帶寬(《60 Hz)解析1 mg(0.06°傾角)以下的信號。根據應用需要，可以選擇0.5 Hz至2.5 kHz范圍內的帶寬。ADXL206提供13 mm × 8 mm × 2 mm、8引腳側面釬焊陶瓷雙列直插式封裝(SBDIP)。

ADXL206 iMEMS加速度計主要特性

溫度范圍：–40°C至+175°C 分辨率：1 mg (60 Hz) 低功耗：700 µA(VS = 5 V，典型值) 高零g偏移可重復性 高靈敏度精度 抗沖擊能力：3500 g 產品報價與供貨。

ADI MEMS陀螺儀系列產品

ADI推出兩款MEMS陀螺儀新品ADIS16136和ADIS16488

近日，ADI推出兩款MEMS陀螺儀新品。一款是戰(zhàn)術級iSensor®數(shù)字MEMS陀螺儀ADIS16136，性能可匹敵光纖陀螺儀。另一款是iSensor® MEMS IMU(慣性測量單元)ADIS16488，它是最穩(wěn)定最完整的集成傳感器套件，在很多性能指標上優(yōu)于其它同類IMU，甚至優(yōu)于傳統(tǒng)的軍用級IMU。

ADIS16136 iSensor數(shù)字MEMS陀螺儀

ADIS16136典型零偏穩(wěn)定度為3.5o/小時，采用火柴盒大小的模塊封裝，功耗低于1 W，重量僅25克。ADIS16136無需用戶配置就能產生精密準確的速率檢測數(shù)據，使快速開發(fā)平臺穩(wěn)定控制、導航、機器人、醫(yī)療儀器儀表等對精度要求非常高的應用成為可能。

ADI公司MEMS/傳感器技術部iSensor業(yè)務開發(fā)經理Bob Scannell表示：“與昂貴的光纖陀螺儀相比，ADIS16136 MEMS陀螺儀的穩(wěn)定度和角度隨機游走特性與之相當，線性度則提高2倍，啟動時間快30倍，功耗低5倍。更重要的是，ADIS16136陀螺儀的尺寸非常小，大約為1立方英寸，重量僅有25克。相比于10立方英寸甚至更大的光纖陀螺儀，ADIS16136可以說是體積非常的小，這將有助于許多新應用實現(xiàn)精密角速率檢測。”

ADIS16136將iMEMS®技術與ADI公司成熟的信號調理技術結合，可提供優(yōu)化的動態(tài)性能。ADIS16136以最高2048 SPS(每秒采樣數(shù))的速率提供數(shù)據，并提供一個均值/抽取濾波器結構，以優(yōu)化噪聲與帶寬的取舍。串行外設接口(SPI)和用戶寄存器結構可讓用戶輕松訪問配置控制和校準的傳感器數(shù)據，適合嵌入式處理器平臺。每個器件均在整個溫度范圍內經過全面的校準，具有器件特定的補償公式，無需額外測試或校準便可提供高度穩(wěn)定的傳感器輸出。380 Hz的寬帶寬能為復雜的穩(wěn)定應用帶來顯著的優(yōu)勢。新款陀螺儀采用36mm× 44mm × 14mm封裝，提供4個孔，可輕松實現(xiàn)機械固定;此外還提供一個標準24引腳、雙排、1 mm間距連接器，可與印刷電路板或電纜系統(tǒng)實現(xiàn)電氣連接。工作溫度范圍為-40℃至+85℃。

iSensor® MEMS IMU(慣性測量單元)ADIS16488

第三代iSensor® MEMS IMU(慣性測量單元)ADIS16488是一款戰(zhàn)術級10自由度(DoF)傳感器，在單封裝中集成一個三軸陀螺儀、一個三軸加速度計、一個三軸磁力計和一個壓力傳感器。ADIS16488提供最穩(wěn)定、最完整的集成傳感器套件，支持高性能導航和平臺穩(wěn)定控制應用的嚴格要求。除了重要的戰(zhàn)術級(低于10o/小時)零偏穩(wěn)定度以外，在重力加速度效應、溫度系數(shù)和帶寬等一般更重要的特性方面，ADIS16488超過其它同類陀螺儀/IMU產品，改善最多可達100倍。此外，在對線性加速度和振動加速度抑制方面，新款iSensor MEMS IMU甚至超過傳統(tǒng)軍用級IMU。每個器件均要經過獨特而全面的工廠校準，能夠在最惡劣的環(huán)境下提供更高的精度;相對于典型的運動傳感器開發(fā)，設計的復雜度、時間、成本和風險大大降低。

Bob Scannell表示：“工業(yè)、軍用和醫(yī)療設備的設計工程師要求精度極高的運動檢測和控制，來支持穩(wěn)定或導航應用。ADIS16488戰(zhàn)術級IMU提供的性能水平以前只有不限預算的設計才能獲得。相比于傳統(tǒng)高端IMU，ADIS16488在零偏穩(wěn)定度和角度隨機游走等關鍵指標的性能與之相當或更好，而對振動校正、線性度和帶寬等一般更重要的參數(shù)，ADIS16488能夠提供更優(yōu)越的性能，并且功耗僅為其1/4，成本僅為其1/10。”

ADIS16488是一款完整的慣性測量系統(tǒng)，提供優(yōu)化的10自由度動態(tài)性能。它完全自主工作，包括所有嵌入式補償，通電后500 ms就能從SPI接口獲得有效數(shù)據。所有校準均在工廠完成，嵌入式濾波和其它診斷由ADI Blackfin®處理器控制的可配置接口進行調整，因而設計集成的大部分時間和風險得以消除。

ADI推出最穩(wěn)定抑制性能最高的iMEMS陀螺儀ADXRS800

Analog Devices， Inc--ADI，全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近推出 ADXRS800 i MEMS ® 陀螺儀 ，它采用已獲專利的差分四梁架構，能夠將線性沖擊和振動的影響降至最低，適合汽車電子穩(wěn)定性控制、側翻檢測和俯仰檢測應用。ADXRS800 已通過汽車安全應用認證，是目前最穩(wěn)定、振動抑制性能最高的汽車級陀螺儀，其連續(xù)機電自測特性可確保陀螺儀輸出信號的完整性。

ADI 公司汽車應用副總裁 Thomas Wessel 表示：“穩(wěn)定控制系統(tǒng)始終需要精確的慣性信號，特別是當存在惡劣的振動和沖擊時，ADXRS800 出色的振動抑制性能對安全至上的汽車應用極為有利。連續(xù)自測特性對于實現(xiàn)最高工業(yè)標準的故障安全系統(tǒng)性能也很重要。該器件的創(chuàng)新性能將使汽車更安全。”

與其它 MEMS 陀螺儀不同，ADXRS800 的獨特架構使其能夠在極端惡劣的汽車環(huán)境中提供非常精確的性能，而無需借助復雜且昂貴的系統(tǒng)級對應措施。對線性加速度的靈敏度僅為 0.03°/s/g，振動校正特性僅為0.0002°/s/g2，+105攝氏度 時的噪聲速率密度為0.02°/s/√Hz，整個工作溫度范圍內和產品壽命期間的零點失調偏差最大值為3°/s。該陀螺儀的偏置穩(wěn)定性優(yōu)于其它器件，并且無需校準，因而系統(tǒng)設計得以進一步簡化。此外，典型條件下的功耗僅6 mA。新款陀螺儀提供空腔塑封 SOIC-16(Z軸)和 SMT 兼容垂直貼裝(X軸)兩種封裝，能夠在-40攝氏度至125攝氏度的擴展溫度范圍內工作。

ADXRS800 的連續(xù)自測架構簡化了故障檢測算法，系統(tǒng)設計師可以將故障檢測快速集成到設計中。機電系統(tǒng)的完整性通過以下方法來檢查：對檢測結構施加一個高頻靜電力，以便與基帶中的實際速率激勵信號區(qū)分開來，然后濾除實際速率激勵信號，使傳感器輸出不受干擾。由于動態(tài)范圍非常寬，ADXRS800能夠檢測高達±300°/s 的角速率，同時在低端提供80 LSB/°/s的高分辨率。采用80 Hz 濾波器時，噪聲低至0.16°/s rms。角速率數(shù)據以16位字形式提供，作為32位串行外設接口(SPI)消息的一部分。其它特性包括：在擴展的工業(yè)溫度范圍內提供內部溫度補償;可選的獨特陶瓷垂直貼裝封裝，它支持在單一 PCB 上進行三軸檢測而無需子板。

ADI MEMS麥克風系列產品

ADI推出業(yè)界最低噪聲MEMS麥克風ADMP504

Analog Devices， Inc. (ADI)，全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近推出了高性能業(yè)界最低噪聲 MEMS 麥克風ADMP504。ADMP504具有65 dBA SNR(信噪比)或29 dBA EIN(等效輸入噪聲)，能夠提供與兩個獨立62 dB SNR 麥克風所組成的陣列相同的 SNR 性能。此外，ADMP504 還提供高達20 kHz 的擴展頻率響應和70 dBV 的高 PSR(電源抑制)。憑借這一性能，ADMP504 可以滿足許多工業(yè)級專業(yè)音頻與視頻會議應用的嚴苛要求。新款麥克風采用 ADI 已獲專利的 MEMS 技術和音頻信號處理技術，并提供薄型3.35 mm X 2.50 mm X 0.88 mm 表貼封裝。

據IHS統(tǒng)計，2011年 MEMS 麥克風的全球供貨量上升至13億顆，比2010年的7.04億顆增加了82%，這主要是受到了手機需求的推動。

IHS公司MEMS與傳感器部門總監(jiān)兼首席分析師 Jeremie Bouchaud 指出：“ADI 公司的高性能麥克風從2008年進入市場以來就獲得了市場的廣泛認可，在智能手機和多媒體平板電腦市場尤其倍受青睞。隨著性能進一步提升，ADI已準備好在工業(yè)設備監(jiān)控和樓宇安全等其他市場實現(xiàn)多種創(chuàng)新應用。”

ADMP504 是一款表面貼裝 MEMS 麥克風，支持回流焊，而不會引起靈敏度下降。-38 dBV 的靈敏度特性非常適合很多編解碼器和分立式信號鏈器件。65 dBA 的高 SNR 或29 dBA 的 EIN 能夠實現(xiàn)遠場音頻采集應用以及使用多麥克風波束形成算法的應用。其功耗小于180 uA(典型值)，電源電壓為1.6 V至3.3 V，能夠延長電池壽命，適合便攜式應用。

ADMP504 MEMS 麥克風主要特性和優(yōu)勢

具有65 dBA SNR 或29 dBA EIN，能夠在高清應用中實現(xiàn)出色音質。

擴展頻率響應高達20 kHz，能夠產生高度平衡且自然的聲音。

具有70 dBV 的高 PSR，能夠提供優(yōu)異的 RF 和電噪聲抑制性能，設計人員可以更靈活地放置麥克風和進行電源布線。

具有-38 dBV 的靈敏度特性，非常適合很多解碼和分立式信號鏈器件。

ADI公司推出ADMP441首款INTER-IC SOUND數(shù)字MEMS麥克風

Analog Devices， Inc. (ADI)，全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近推出業(yè)界首款高性能ADMP441 iMEMS®麥克風，它能夠提供 I2S 數(shù)字輸出。ADMP441 還具有100 Hz至15 kHz的擴展頻率響應、61 dBA的高信噪比(SNR)和80 dBFS的高電源抑制比(PSRR)，這些優(yōu)異的特性成為 ADI 公司備受贊譽的 MEMS 麥克風系列產品的品質保證標志。新型 MEMS 麥克風采用已獲專利的 ADI MEMS 和音頻信號處理技術，并提供薄型4.72 mm X 3.76 mm X 1.00表貼封裝。它支持回流焊，同時靈敏度不下降。

ADI 公司 MEMS 和傳感器技術部產品線總監(jiān) Kieran Harney 表示：“多年來，為了將麥克風輸出信號轉換成非手機應用的標準 I2S 格式，音頻設計師不得不采用額外的信號處理，既增加系統(tǒng)成本，同時設計也更復雜。創(chuàng)新的 ADMP441 提供業(yè)界標準 I2S 輸出，支持即插即用，封裝尺寸小，不僅能簡化音頻系統(tǒng)設計，而且能降低整體信號鏈成本和復雜度。ADMP441 是 ADI 公司不斷擴充的高性能MEMS麥克風系列中的最新產品，符合更優(yōu)音質和更小尺寸的市場需求。”

主要特性和優(yōu)勢

I²S 數(shù)字接口提供高精度24位數(shù)據，支持即插即用，兼容非手機應用的業(yè)界標準數(shù)字接口。

信噪比(SNR)高達61 dBA，在遠場應用中能實現(xiàn)出色的音質和高度清晰的聲音。

100 Hz至15 kHz 的平坦頻率響應能夠產生高度平衡且自然的聲音。

80 dBFS 的高電源抑制比(PSRR)能夠提供優(yōu)異的 RF 和電噪聲抑制性能，設計人員可以更靈活地放置麥克風和進行電源布線。

此外，ADMP441 完全符合 TIA-920 標準：電信電話終端設備寬帶數(shù)字有線電話的傳輸要求。

供貨與報價

ADMP441 iMEMS麥克風將于2011年6月開始量產，現(xiàn)可提供樣片，千片訂量報價為2.38美元/片。

iMEMS® 麥克風：專為提供高質量聲音而設計

世界各地的設計工程師已熟知 ADI 公司創(chuàng)新 iMEMS 技術的強大功能。從最初的運動傳感器，到如今的 MEMS 麥克風，每天都有成百上千的尖端應用依靠該技術而獲得成功。iMEMS 麥克風凝聚了 ADI 公司近20年的 MEMS 專業(yè)技術與音頻信號處理經驗，實現(xiàn)了前所未有的性能。iMEMS 麥克風及其眾多性能優(yōu)勢必將使未來電子設備的音頻輸入設計徹底改觀。

ADI 其他MEMS器件產品

ADI推出ADIS16227新款MEMS智能震動監(jiān)控器

ADI發(fā)表全新ADIS16227 iSensor MEMS 振動監(jiān)測器，使設備設計廠商擁有一個可以自動化作業(yè)的完全整合型振動分析解決方案。ADI公司正協(xié)助工業(yè)設備設計廠商透過振動偵測/隔離/校正，以改善系統(tǒng)的性能與維護的成本。

ADI對于會導致精密度較差的運作或是設備故障等狀況，肇因于設備與軸承損壞的可能振動來源，該元件實現(xiàn)了最先期的偵測、辨認、以及隔離功能。借由將這些小巧的振動監(jiān)測器加以嵌入，從風力渦輪機到工廠自動化與裝配設備等的應用領域都能夠從自動化的振動資料搜集上獲益。

MEMS 加速度計很適合于使用在振動監(jiān)測方面，但是通常都只具有低整合度。ADI 以其于整合型傳感器處理方面的經驗，將 MEMS 加速度計轉換成一組具有可程式嵌入式處理功能的三軸振動分析器。 ADIS 16227 iSensor 振動監(jiān)測器消除了利用多重元件進行開發(fā)時的復雜度以及風險，并且實現(xiàn)了更為寬廣的應用基礎。

ADIS 16227 iSensor 是一款三軸數(shù)位振動監(jiān)測器，結合了 iMEMS 傳感器、資料轉換與傳感器處理技術、以及方便的資料擷取和串聯(lián)周邊接口(SPI)。 SPI 與資料緩沖架構使廣大頻寬的傳感器資料能夠加以存取。 22kHz的傳感器諧振與100kSPS取樣速率提供了適合于廣大頻寬振動監(jiān)測應用領域的頻率響應。

ADI推出戰(zhàn)術級10自由度MEMS IMU-ADIS16488

Analog Devices， Inc. (ADI)，全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近正式全面推出第三代iSensor® MEMS IMU(慣性測量單元)ADIS16488，這是一款戰(zhàn)術級10自由度(DoF)傳感器 ，在單封裝中集成一個三軸陀螺儀、一個三軸加速度計、一個三軸磁力計和一個壓力傳感器。新款 MEMS IMU提供最穩(wěn)定、最完整的集成傳感器套件，支持高性能導航和平臺穩(wěn)定控制應用的嚴格要求。除了重要的戰(zhàn)術級(低于10 o /小時)零偏穩(wěn)定度以外，在重力加速度效應、溫度系數(shù)和帶寬等一般更重要的特性方面，ADIS16488同樣超過所有其它同類陀螺儀/IMU產品，改善最多可達100倍。此外，在對線性加速度和振動加速度抑制方面，新款 i Sensor MEMS IMU甚至超過傳統(tǒng)軍用級 IMU。每個器件均要經過獨特而全面的工廠校準，能夠在最惡劣的環(huán)境下提供無與倫比的精度;相對于典型的運動傳感器開發(fā)，設計的復雜度、時間、成本和風險大大降低。

ADI 公司MEMS/傳感器技術部 iSensor 業(yè)務開發(fā)經理 Bob Scannell 表示：“工業(yè)、軍用和醫(yī)療設備的設計工程師要求精度極高的運動檢測和控制，來支持穩(wěn)定或導航應用。ADIS16488戰(zhàn)術級 IMU 提供的性能水平以前只有不限預算的設計才能獲得。相比于傳統(tǒng)高端 IMU，ADIS16488在零偏穩(wěn)定度和角度隨機游走等關鍵指標的性能與之相當或更好，而對振動校正、線性度和帶寬等一般更重要的參數(shù)，ADIS16488 能夠提供更優(yōu)越的性能，并且功耗僅為其1/4，成本僅為其1/10。”

ADIS16488 iSensor 10自由度 MEMS IMU 是一款完整的慣性測量系統(tǒng)，實現(xiàn)了 ADI 公司高性能 iMEMS®技術與傳感器信號處理技術的完美結合，提供優(yōu)化的10自由度動態(tài)性能。它完全自主工作，包括所有嵌入式補償，通電后500 ms就能從 SPI 接口獲得有效數(shù)據。所有校準均在工廠完成，嵌入式濾波和其它診斷由ADI Blackfin ® 處理器控制的可配置接口進行調整，因而設計集成的大部分時間和風險得以消除。

ADIS16488 iSensor 10自由度MEMS IMU主要特性

陀螺儀零偏穩(wěn)定度： 6o/hr

陀螺儀動態(tài)范圍： 450°/s

陀螺儀角度隨機游走：0.3°/rt-hr

陀螺儀噪聲：0.005o/s/√Hz rms

非線性： 0.01%

偏置溫度系數(shù)： 0.0025o/s/oC

靈敏度溫度系數(shù)： 35ppm/oC

加速度計零偏穩(wěn)定度：100ug

加速度計動態(tài)范圍： ±18g

X/Y/Z對準精度： 0.05o

帶寬： 330Hz

磁力計動態(tài)范圍：±3.5高斯

氣壓計動態(tài)范圍：10 - 1200 mbar

ADI推出緊湊型多軸MEMS振動監(jiān)控器

ADI最近推出MEMS ADIS16228 iSensor®振動監(jiān)控器，提供更高效的振動檢測，不斷幫助工業(yè)設備設計人員改善系統(tǒng)性能，降低維護成本。這款全集成振動分析系統(tǒng)內置一個嵌入式可編程處理器，提供方向感測和頻譜分析，識別每個振動源并加以歸類。借助這種振動監(jiān)控器，用戶將能在第一時間檢測、識別并隔離振動源，避免因設備和軸承磨損導致運行錯誤和損失巨大的設備停機。ADIS16228振動監(jiān)控器噪聲性能額定值僅為248 µg/ √Hz，動態(tài)范圍為±18g，可設定為0 g至1 g/5 g/10 g/20 g。通過嵌入這種小型振動監(jiān)控器，包括風輪機、精密工廠自動化和組裝設備在內的各種應用都能從自動振動剖面分析中受益。

ADI公司MEMS/傳感器團隊iSensor業(yè)務開發(fā)經理Bob Scannell表示：“MEMS加速度計非常適合振動監(jiān)控應用，但集成度通常較低。憑借數(shù)十年的傳感器處理集成經驗，ADI成功地將MEMS加速度計改造成具有可編程嵌入處理能力的3軸振動分析儀。從此工業(yè)設備設計人員有了一把利器——低噪聲、操作簡單、價格低廉、功能齊全，而且結構緊湊、可直接嵌入的振動分析儀。”

ADIS16228 iSensor振動監(jiān)控器集成了以前只有較大型手持式監(jiān)控器才擁有的智能和分析能力，卻沒有后者的培訓要求，使人們徹底告別了依賴分立器件開發(fā)振動解決方案的繁瑣和風險，開辟了更廣闊的應用空間，通過ADIS16228，開發(fā)人員便可利用行之有效的振動檢測功能，憑借其頻域處理編程和調諧技術來更加迅速有效地隔離振動源。ADIS16228采用15 mm × 24 mm × 15 mm鋁制模塊封裝，提供法蘭、M2機械螺孔和靈活的連接器，支持簡單易行的用戶接口和安裝。

ADI公司推出MEMS ISENSOR數(shù)字傾角計系統(tǒng)

Analog Devices， Inc. (ADI)，全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近正式全面推出ADIS16210 MEMS iSensor® 數(shù)字傾角計系統(tǒng)，該系統(tǒng)可在±180度的全向范圍內精確測量俯仰角和滾動角。ADIS16210凝聚了ADI公司的iMEMS® 多軸加速度計技術和信號處理經驗，不僅增加了用于應用調諧和編程的可尋址用戶寄存器，而且提供了一個SPI兼容串行接口。精密內核傳感器經過調諧，可以輸出精確的俯仰角/滾動角數(shù)據，而不受所裝傳感器方向的影響。ADIS16210在工廠經過特定單位校準，消除了復雜、耗時的用戶校準過程，開箱即可提供0.1度的傾角精度，表現(xiàn)極其出色。ADIS16210專門為最苛刻的應用而設計，并針對醫(yī)學掃描儀等要求高精度平臺穩(wěn)定性、安全監(jiān)控器以及高精度平臺定位/控制的儀器儀表進行了優(yōu)化。

對于各個軸上均存在運動的應用以及極端環(huán)境應用，多軸檢測和精密傳感器處理顯得至關重要。每個ADIS16210均經過全面校準和測試，可保證三個軸各自高度對齊，并在整個運動范圍內均可實現(xiàn)無與倫比的傾斜測量精度，且不受安裝方向的影響。這款新型數(shù)字傾角計系統(tǒng)還提供數(shù)字加速度計和溫度傳感器測量功能，以及系統(tǒng)內校準、采樣速率、濾波、報警、I/O配置、電源管理的配置控制。ADIS16210采用15 mm × 24 mm × 15 mm模塊封裝，提供安裝耳片和M2尺寸的安裝孔，并且配有靈活的邊緣端接連接器接口。工作溫度范圍為-40 ℃至+125 ℃。

ADIS16210數(shù)字傾角計系統(tǒng)的主要特性

俯仰角/滾動角測量精度：±0.1度

軸間對齊：±0.05度

同時支持傾角計和加速度計輸出

數(shù)字內部溫度測量

可編程用戶校準選項

可編程操作、控制和報警