索尼開發(fā)出了驅(qū)動元件采用氧化物半導(dǎo)體TFT的11.7英寸有機(jī)EL面板，并在顯示器國際會議“SID 2010”上進(jìn)行了發(fā)布。通過降低氧化物半導(dǎo)體TFT的特性劣化，確保了有機(jī)EL電視要求的10年以上的壽命。

開發(fā)品利用的氧化物半導(dǎo)體TFT采用蝕刻阻擋（Etch Stopper）構(gòu)造，通道材料采用非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）。TFT元件的柵寬及柵長分別為22μm和8μm，載流子遷移率為11.5cm2/Vs，閾值電壓為0.27V，亞閾值擺幅（Subthreshold swing，S值）為0.3V/decade。

為了降低非晶IGZOTFT的特性劣化，進(jìn)行了以下三個改進(jìn)。第一，源極/漏極由普通的Ti/Al/Ti三層構(gòu)造改為將非晶IGZO接觸的部分變更為Mo的Ti/Al/Mo構(gòu)造，從而降低了電極的氧化現(xiàn)象。第二，鈍化膜沒有采用普通的SiNx和SiOx，而是利用了保護(hù)性能較高的Al2O3（通過DC濺射法成膜）。第三，采用了利用鈍化膜、蝕刻阻擋膜以及源漏極將非晶IGZO完全包覆起來的TFT構(gòu)造。

索尼在AUTHOR INTERVIEWS上公開了11.7英寸的開發(fā)品。該產(chǎn)品在索尼位于神奈川縣厚木市的研究所內(nèi)制作而成。像素為960×540。全白亮度為200cd/m2 ，峰值亮度為600cd/m2以上。對比度為100萬比1以上，色彩表現(xiàn)范圍按NTSC規(guī)格比為100％以上。

有機(jī)EL元件的元件構(gòu)造為從TFT底板反側(cè)提取光的頂部發(fā)光型。與索尼2007年12月上市的有機(jī)EL電視“XEL-1”相比，“發(fā)光元件采用了色彩表現(xiàn)范圍和壽命等特性優(yōu)異的材料”（該公司）。（記者：佐伯 真也）