開發(fā)人員見面會上展示的試制品（點擊放大）
東芝開發(fā)出了使用氧化物半導(dǎo)體TFT驅(qū)動的柔性有機EL面板，并在全球最大的顯示器學(xué)會“49th SID International Symposium, Seminar & Exhibition（Display Week 2011）”（SID 2011）上進(jìn)行了發(fā)布。通過將形成氧化物TFT時的最高工藝溫度控制在200℃，實現(xiàn)了在塑料基板上加工。在發(fā)布后舉行的開發(fā)人員見面會上，東芝展示了在塑料基板形成的試制品。

此次試制的柔性有機EL面板，屏幕尺寸為3英寸，像素為160×120。在氧化物TFT上形成了白色有機EL和彩色濾光片，實現(xiàn)了彩色顯示。TFT所采用的氧化物半導(dǎo)體為IGZO（In-Ga-Zn-O）。柵極驅(qū)動電路也是使用氧化物TFT在塑料基板上形成的。有機EL元件采用底部發(fā)光型構(gòu)造，TFT元件采用蝕刻阻擋（Etch Stopper）方式的底柵構(gòu)造。（記者：田中 直樹）