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[導讀]把由In(銦)、Ga(鎵)、Zn(鋅)、O(氧)構成的半導體材料用于液晶顯示器和有機EL顯示器的像素驅動用晶體管(TFT:薄膜晶體管),有望大幅削減這些顯示器的耗電量。2011年11月,夏普給這種半導體材料注冊了“IGZO&rdqu

把由In(銦)、Ga(鎵)、Zn(鋅)、O(氧)構成的半導體材料用于液晶顯示器和有機EL顯示器的像素驅動用晶體管(TFT:薄膜晶體管),有望大幅削減這些顯示器的耗電量。2011年11月,夏普給這種半導體材料注冊了“IGZO”商標。

不過,開發(fā)出基于InGaZnO材料TFT的,是東京工業(yè)大學的細野秀雄教授,夏普與日本半導體能源研究所合作開發(fā)的是IGZO液晶顯示器。有關采用這種材料的TFT專利由日本科學技術振興機構(JST)管理。采用InGaZnO材料的不只是夏普。2011年7月,韓國三星電子與JST簽訂了授權協議,將該技術應用在了試制階段的有機EL面板上。臺灣友達光電(AU Optronics)、韓國LG顯示器及東芝等也在開發(fā)采用InGaZnO材料的顯示器。

在學會等場合發(fā)布采用InGaZnO材料TFT的液晶顯示器時,經常使用IGZO這個詞。因為用“采用InGaZnO材料的……”來介紹,不如用“采用IGZO的……”來介紹更容易讓人理解。這時,技術人員往往不用IGZO來特指夏普的產品和技術,而是大多將IGZO用作一般的技術名稱。但是,普通人看到或聽到這樣的說法,容易誤解成“三星和東芝也獲得了夏普的IGZO技術授權”。

下面,我們來看一下InGaZnO材料“IGZO”的應用范圍。據夏普“IGZO”網站介紹,該材料能夠提高顯示器的精細度和降低耗電量,已經能夠應用于醫(yī)療保健領域的大面積傳感器以及光計算機。該公司2013年1月申請的商標應用范圍中增加了心電儀及血壓計等醫(yī)療器械(下表),由此可見夏普正在考慮顯示器以外的用途。

夏普申請的IGZO商標

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增大開口率,縮短驅動時間

使用InGaZnO材料之所以能夠降低顯示器的耗電量,是因為與現在大多顯示器采用的非晶硅材料相比,這種材料的載流子遷移率高,形成TFT后的截止漏電流小。載流子遷移率是衡量電流是否容易通過的指標。

如果載流子遷移率高,相同電流流過的TFT面積就可以減小,布線也可以減細。從原理上來講,不透光部分的面積減小,能夠獲得很大的開口率。獲得相同光量所需要的發(fā)光量減少,有利于降低耗電量。另外,由于漏電流小,圖像沒有變化的靜止圖像部分可以設置TFT驅動電路關閉期。從而可以降低驅動電路的耗電量。

由于載流子遷移率高,可以縮小TFT和布線的面積,因此比使用非晶硅材料的顯示器也更容易提高精細度。用于與液晶顯示器配合使用的觸摸面板的布線時,在液晶顯示器暫停驅動期間,只要感應到觸摸,就不容易受到噪聲影響,從而實現順利操作。

  各材料的特性

*有時為提高載流子遷移率,會將InGaZnO的制造工藝溫度設在300℃以上。

將在醫(yī)療等新領域發(fā)揮作用

不過,采用InGaZnO材料的液晶顯示器,其出色特性主要是與非晶硅液晶產品相比較而言的。其實InGaZnO材料的載流子遷移率和精細度提高幅度不如使用LTPS(低溫多結晶硅)液晶。雖然漏電流在顯示器使用的半導體材料中非常出色,但與微處理器等半導體采用的結晶硅相比,并不算出色。

另外,還有人指出,采用InGaZnO材料的液晶顯示器產品的開口率,未必比現有非晶硅產品高,根據這些結果,采用該材料降低耗電量的效果估計也不是很大。另外,還存在量產業(yè)績尚少以及需要使用稀有金屬In和Ga等課題。

將來,InGaZnO材料的應用范圍將擴展到顯示器和觸摸面板以外。因為將該材料用于TFT和布線時,溫度可以較低。在低溫下處理容易降低制造成本,因此還適合基于樹脂基板的柔性顯示器。制造時還可以采用在卷狀材料上連續(xù)形成元件的卷對卷方法。夏普指出,鑒于該材料可在大面積柔性基板上形成電子電路,因此有可能應用于裝有健康傳感器的毛毯上。

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