VLSI技術(shù)研究組合是日本企業(yè)在追趕美國計算機巨人IBM公司的過程中產(chǎn)生的。20世紀70年代，傳來了IBM將著手開發(fā)第四代計算機“未來系統(tǒng)”的消息。據(jù)說該型計算機將使用超大規(guī)模集成電路VLSI ，而在集成電路技術(shù)領(lǐng)域，日本已大幅落后于美國，如果不能在此關(guān)鍵核心技術(shù)領(lǐng)域取得突破，日本企業(yè)休想趕上IBM。但是VLSI的研發(fā)，需要的資金十分龐大，不是個別企業(yè)所能承受得起的。當時日本政府希望在半導體領(lǐng)域縮小同美國的技術(shù)差距，著力計算機這個幼稚但又至關(guān)重要的產(chǎn)業(yè)。為此，日本通產(chǎn)省于1975年成立了包含多名產(chǎn)業(yè)界和學術(shù)界人士在內(nèi)的“VLSI研究開發(fā)政策委員會”。經(jīng)該委員會醞釀，通產(chǎn)省于1976年成立了由政府和民間企業(yè)共同出資的共同研究開發(fā)組織———————“VLSI技術(shù)研究組合”。

參加“VLSI技術(shù)研究組合”的企業(yè)全部由通產(chǎn)省選定。它們是日本電氣、東芝、日立、富士通、三菱電機，幾乎囊括了日本境內(nèi)所有的大型半導體生產(chǎn)企業(yè)。同時，通產(chǎn)省還決定在研究組合下面設(shè)立一個研究基地————共同研究所，由通產(chǎn)省所屬的工業(yè)技術(shù)院電子技術(shù)綜合研究所和各參加企業(yè)負責派遣科研人員組成。這是日本第一次由存在競爭關(guān)系的企業(yè)各自派遣研究人員組成相對穩(wěn)定的共同研究所。

據(jù)周程教授介紹，日本早期也有一些自發(fā)的研究組合，比如企業(yè)以締結(jié)合同的方式明確各自的研究任務(wù)、所需承擔的研究經(jīng)費以及研究成果的處理分配方式等，或者組建臨時性的松散研究組織。但是這類研究組合不具有獨立法人地位，政府不提供稅收優(yōu)惠和資金援助；而且專利法中的職務(wù)發(fā)明條款很難適用、容易引發(fā)知識產(chǎn)權(quán)糾紛。為了解決這一問題，1961年，日本政府通過了《工礦業(yè)技術(shù)研究組合法》。該法規(guī)定，只要被認定為“技術(shù)研究組合”，就可以被視作非營利性的特殊法人，并享受稅制優(yōu)惠。

VLSI組合的最高管理機構(gòu)是理事會，由各大公司的總裁和通產(chǎn)省的代表組成，理事會的主席由理事輪流擔任，秘書長由通產(chǎn)省出身的離職官員擔任。理事會下設(shè)運營企劃委員會，其成員由各公司分管半導體工作的副總裁級人物以及通產(chǎn)省管轄的電子技術(shù)綜合研究所相關(guān)負責人組成。他們每月至少碰頭一次，就組合中的重大事項進行商議、拍板。為提高議事效率，運營企劃委員會設(shè)立了兩個專門委員會————經(jīng)營委員會和技術(shù)委員會，前者專責行政事務(wù)，后者專責技術(shù)研發(fā)。

政府主導，怎樣才能使互相競爭的企業(yè)之間化干戈為玉帛、通力合作呢？馬俊如教授向記者介紹了日本政府組織企業(yè)聯(lián)合創(chuàng)新的經(jīng)驗：一是創(chuàng)新管理機制，把技術(shù)創(chuàng)新過程分為聯(lián)合攻關(guān)以突破共性技術(shù)和有了先進技術(shù)后各企業(yè)在此基礎(chǔ)上獨立開發(fā)產(chǎn)品兩個階段。技術(shù)突破的成果共享，各自用先進技術(shù)開發(fā)新產(chǎn)品進行市場競爭。這就為競爭者凝聚在一起搞創(chuàng)新找到了利益的共同點，而且企業(yè)不會擔心自己的特有技術(shù)會在共同研發(fā)過程中被競爭對手學去。政府只對產(chǎn)前競爭階段的技術(shù)研發(fā)予以補助，而且補助額只是少量的，這樣的好處是，不至于給國際社會留下日本政府在大規(guī)模補貼半導體生產(chǎn)企業(yè)的口實。二是以企業(yè)為主體進行技術(shù)創(chuàng)新，參加攻關(guān)的企業(yè)必須投入軟、硬條件真抓實干。三是聯(lián)合攻關(guān)實體在目標任務(wù)完成后就解散。

就拿超大規(guī)模集成電路“VLSI技術(shù)研究組合”來說，通產(chǎn)省在課題的選擇上，只對共性、基礎(chǔ)性的技術(shù)研發(fā)予以支持，對這種研發(fā)的補助控制在總研發(fā)費的50％以內(nèi)，研究組合的專利，參加企業(yè)均可無償使用。核心技術(shù)交由共同研究所公關(guān)解決，設(shè)計技術(shù)由各參與企業(yè)所屬研發(fā)機構(gòu)自行組織攻關(guān)。至于工藝處理技術(shù)、檢測評價技術(shù)、裝置設(shè)計技術(shù)等，除其中的一些基礎(chǔ)性、共性問題由共同研究所負責外，其他均由各企業(yè)自行解決。

此外，在組織架構(gòu)上，凡是適于由中立者擔任的職務(wù)均由通產(chǎn)省出身的人員擔任，而且其出身和資歷要足以能夠贏得各個公司的信任與合作。

即便如此，官、產(chǎn)、研要協(xié)調(diào)一致，也不是件容易的事。周程教授向記者講述了合作過程中的一個小故事————

共同研究所要求五個參與企業(yè)各推薦一名研究室主任級人選，研究室成員則由各研究室主任挑選。但由于參與企業(yè)擔心自身的技術(shù)外流而失去技術(shù)優(yōu)勢，所以不愿意將最優(yōu)秀的技術(shù)骨干推薦到共同研究所任職。最后由所長垂井康夫提出初步名單，經(jīng)通產(chǎn)省相關(guān)部門出面協(xié)調(diào)，才確定室主任級人選。但是，在如何安排五個研究室主任人選時又遇到了麻煩，因為五位室主任候選人為了本單位的利益，都希望要擔任高精度加工這個關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)部門的主任。最后，VLSI組合決定設(shè)置相互獨立的三個研究室，由有過半導體精密加工設(shè)備研發(fā)經(jīng)驗的日立、富士通、東芝三家公司的室主任候選人各負責一個。硅結(jié)晶技術(shù)屬于最為基礎(chǔ)的技術(shù)，該研究室主任最終決定由電子技術(shù)綜合研究所的科研人員出任。三菱電機和NEC的室主任候選人則負責剩下的工藝處理技術(shù)研究室和檢測評價與裝置設(shè)計技術(shù)研究室。三個高精度加工設(shè)備研究室的成員，主要從室主任所在的企業(yè)中抽調(diào)，其余的兩家企業(yè)則分別加入其中。由于余下的兩家企業(yè)在高精度加工領(lǐng)域起步晚，不構(gòu)成威脅，所以三家先行企業(yè)都沒有表示排斥。至于另外三個研究室的成員，則打破企業(yè)界限，盡量從五家參與企業(yè)中等額抽調(diào)。

為促進研究交流，通產(chǎn)省出身的官員和電子技術(shù)綜合研究所的科研人員每隔一到兩周，便將各研究室科研人員組織到一起，匯報交流各自地研究進展。三個高精度加工技術(shù)研究室雖被相互隔開，但是用作隔離的只是一些書架之類東西，沒有裝門，故研究人員都可以自由地進入其他研究室進行參觀、交流。而且無塵室也是共用的，也成了一個重要的交流場所。此外，通產(chǎn)省出身的官員和電子技術(shù)綜合研究所的科研人員還經(jīng)常發(fā)起戶外旅行、節(jié)假日聚會等聯(lián)誼活動，以縮小來自于各個企業(yè)的科研人員之間的心理距離。經(jīng)過精心策劃，共同研究所逐漸變成了一個“組織”，并在迎接共同的對手————IBM的挑戰(zhàn)過程中最終走到了一起。三個研究室圍繞著同一個目標從不同角度發(fā)起沖鋒，反而取得了很多意想不到的收獲。[!--empirenews.page--]

其實，共同研究所雖然直接參加的只有五家企業(yè)，但很多上游企業(yè)都不同程度地被動員起來了。共同研究所將不少研究項目交給了集成電路生產(chǎn)的上游企業(yè)，例如理光、佳能等，據(jù)統(tǒng)計，四年里與VLSI組合掛鉤，參與研發(fā)的上游企業(yè)數(shù)多達50余家。

VLSI組合的最大功績是成功地開發(fā)出了半導體加工過程中的關(guān)鍵設(shè)備————縮小投影型光刻裝置（Stepper）。三支團隊研發(fā)半導體加工裝置的技術(shù)路線雖然不盡相同，但都取得了重大突破。這些技術(shù)突破為日本后來在整個半導體生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域確立優(yōu)勢地位奠定了基礎(chǔ)。VLSI組合啟動以前，日本半導體生產(chǎn)設(shè)備的80％左右依賴從美國進口，但到了上世紀80年代中期，全部半導體生產(chǎn)設(shè)備都實現(xiàn)了國產(chǎn)化，至80年代末，日本的半導體生產(chǎn)設(shè)備的世界市場占有率超過了50％。