當前,電器和移動AV設備市場上,智能手機和平板PC成長迅猛。智能手機的全球銷量從2012年的6.5億部增加到2013年的7.9億部。預計2015年將達到10億部。類似地,PC的全球銷量從2011年的1.2億臺增加到2013年的1.6億臺。預計2017年將達到4.2億臺。這些移動設備要求一年比一年更高的性能、更多的功能和更低的價格。所以,用在CPU、GPU、DSP、AP和RF中的半導體產品規(guī)模更大,速度更高、更加密集。為此晶圓工藝技術正通過加大晶圓尺寸(即從150mm擴大到300mm或400mm)減少成本,并通過更細的工藝圖形(即從90nm到65nm、45nm、40nm、32nm和28nm)改善至更高的集成度、功能性和速度。故與此同時要求更高的電路密度、更高的性能和更低的價格。
對于集成度較大和速度較高的LSI的成熟技術,有必要開發(fā)采用低k材料的隔離技術。但為了滿足這些高性能,由于用多孔和多層結構,隔離變得越來越薄。結果,LSI就變得易脆。另一方面,為了滿足高速要求,LSI的電流不斷增加。除了芯片尺寸不斷縮小外,熱密度和功耗也不斷增加。所以,對于未來的半導體封裝,要求解決這些問題,即層間介質的易脆性、高熱、高速和低價格。半導體工藝未來的設計規(guī)則將進入20nm一代或其下,這將更加脆弱得多。
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