【導讀】國產半導體設備：太陽能市場占半壁江山
    在半導體設備領域，幾乎是國外大公司的天下，而隨著國外二手設備在中國的“觸礁”以及太陽能電池產業(yè)的迅速興起，給國內半導體設備廠商帶來了機會。
  
    國產設備應從中低端突破  

    在高端設備領域，國內廠商在技術上無法與國外廠商同臺競技，而且隨著關稅的逐步降低，以往的價格優(yōu)勢也在逐步縮小。但在技術差距不大的中低端市場，通過市場細分，大部分國內生產商擁有穩(wěn)定的客戶群，而且市場優(yōu)勢也相對明顯。中國電子科技集團公司第四十五研究所市場部主任胡保平對國產半導體設備所具有的優(yōu)勢進行了詮釋，他說，價格方面，在同等的技術水平下，國產設備價格通常不到進口設備的1/2，高性價比及高資金回報率吸引了國內大部分采購商；在地域上，接近市場，既有利于售前技術交流及與工藝單位的密切配合，為用戶量身定做產品，也有利于售后的維修服務和長遠的零部件供應；在服務上，市場的磨礪使國內生產商逐漸成熟，從市場導向到用戶導向，從“價格贏人”到“服務留人”，本土企業(yè)服務觀念的轉變極大提升了國內用戶對使用國產設備的信心。  

    事實上，國產半導體設備從中低端突破已經在業(yè)內達成共識。北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設備分公司總經理盛金龍告訴記者，我們國家的半導體設備尤其是主要設備，既要在諸如曝光、刻蝕和離子注入等關鍵設備上實現(xiàn)突破，也要關注諸如氧化擴散設備、化學腐蝕設備、硅片清洗設備。從一定意義上說，后者更有率先實現(xiàn)突破的條件，因為多年來我們沉淀了雄厚的技術，又有廣泛的客戶基礎。其本身的技術難度也相對于曝光、刻蝕和離子注入等關鍵設備要稍微小一些，又是IC線上所用的數(shù)量巨大的設備類型。他強調說，國家及企業(yè)在這幾個產品領域應加強力量投入，這幾種設備的大規(guī)模產業(yè)化所需要的資源應該要比其他幾項要少得多，實現(xiàn)突破的前景更美好。  

    中國電子科技集團公司第四十八研究所副所長王俊朝表示，IC產業(yè)的中低端設備、太陽能電池制造設備、LED及LCD部分前工序關鍵設備和后工序設備等國產設備已有良好基礎的領域依然是國產設備應選擇的市場突破點。離子注入機、刻蝕機、光刻機、MOCVD等關鍵設備應是國產設備選擇的技術突破點。  

    太陽能電池設備占半壁江山  

    由于國外太陽能電池需求的猛增，使國內太陽能電池產業(yè)也呈跳躍式發(fā)展，因此極大地促進了以太陽能電池片為主的半導體設備的增長，使其成為今年半導體設備的主要組成部分。據(jù)中國半導體設備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，今年上半年太陽能電池設備的銷售額已經達到3億元，已經占到半導體設備銷售額的一半以上。  

    中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會秘書長金存忠表示，由于國產半導體設備很難進入大的集成電路生產線，因此，企業(yè)為了生存，只能尋找有市場前景的產品。太陽能電池設備價格比較低，國外廠商不好介入，而且其技術難度要比IC設備小得多，加之國內市場的驅動，因此，目前太陽能電池設備有廣闊的市場前景，七星華創(chuàng)、中電科技集團第48所等國內知名半導體設備生產單位都已在這個領域取得不俗業(yè)績。  

    王俊朝告訴中國電子報記者，自2002年開始，通過和一流企業(yè)合作并引進先進的工藝技術，歷經多次技術換代及升級，國產的太陽能電池片關鍵生產設備，如制絨機、硅片清洗機、8英寸擴散爐、刻蝕機、PSG祛除機、低溫烘干爐、燒結爐、絲網制刷機等相繼在國內大生產線上替代了進口設備，并取得廣泛應用。特別是2003年七星華創(chuàng)以及2004年中國電子科技集團公司第48研究所研制成功的電池片制造用最關鍵設備之一——熱壁式生產型PECVD設備，使我國設備業(yè)已基本具備太陽能電池制造設備整線供給能力。  

    盡管如此，我們也要看到，國外半導體設備巨頭，如應用材料公司，也在覬覦這個市場，目前他們正在和國內的廠商談合作，而一旦他們介入這個領域，定會給國內廠商造成很大沖擊。因此，國內廠商應抓緊手中資源，利用自己的價格、地緣及服務優(yōu)勢，在太陽能電池設備領域立穩(wěn)腳跟。  

    二手半導體設備遇難題  

    針對前一時期炒得火熱的二手半導體設備，業(yè)內士人紛紛表示，二手設備只是一個過客，最終要落實到發(fā)展國產半導體設備業(yè)上來。金存忠對記者說，目前二手設備遇到很多問題，主要是資金和技術問題。二手設備的升級及配件供應、售后服務跟不上，制約了二手設備業(yè)的發(fā)展，而且，二手設備主要集中在8英寸生產線，國際知名公司12英寸生產線的逐漸增多，將進一步限制二手設備的發(fā)展。  

    盛金龍表示，二手設備是IC發(fā)展的時代產物，那是一個必然，在短時間內解決了生產線設備短缺問題，但不是長久之計。從另一個側面說明，我國的半導體設備工業(yè)太落后了，F(xiàn)AB太需要支持了。所以只有國產設備的進步速度超過了國際FAB淘汰舊線的速度，二手線就沒有用武之地了。FAB并不是愿意使用二手設備，而是因為新線投資過大不堪重負不得已而為之，從根本上說還是國產設備沒有跟上帶來的。  

    胡保平告訴記者，實事求是講，上世紀90年代以前，我國半導體設備水平與國外差距較大，甚至達不到國外二手設備的水平，這使得我國半導體生產企業(yè)大量進口二手設備，但是近幾年來，國產半導體設備整體水平有了明顯提高，有些設備已達到或超過國外新設備水平，有許多半導體企業(yè)(特別是民營企業(yè))已經大量采購國產半導體設備并已嘗到了甜頭。另外，近些年來國外的二手設備市場越來越混亂，有許多用戶已經飽嘗了二手洋垃圾的苦頭。因此，國家應該出臺一些政策限制二手設備的進口，扶植國產半導體設備的成長與發(fā)展。  

    相關鏈接  

    [!--empirenews.page--]我國太陽能電池設備技術水平  

    首先，在濕法腐蝕和清洗設備方面，主要是自動制絨面設備、自動清洗設備、自動PSG祛除設備，國內已經能夠制造，且已經達到世界先進水平。  

    其次，擴散爐已和國際中等水平相當，且性價比優(yōu)勢十分明顯。   

    第三，刻蝕機距國際先進水平差距較大，但性價比優(yōu)勢明顯。  

    第四，國產PECVD的工藝結果已接近世界先進水平，這是這種設備的優(yōu)勢。但它的自動化程度不如進口設備，而該設備推廣的瓶頸主要是產量與進口平板連續(xù)式設備差距很大。  

    第五，國產絲網印刷機、烘干/燒結爐的基本功能具備，但與進口產品的差距也是在自動裝卸片(機械手)和自動檢測手段上。  

    第六，自動檢測分檔設備目前國內還在開發(fā)研制中。  

    專家觀點  

    北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設備分公司總經理盛金龍：  

    8英寸設備“一只腳”已踏進大生產線門檻