核心提示：日本住友電氣工業(yè)株式會社所屬Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. (SEDI)已訂購一套4 英寸晶圓規(guī)格AIXTRON 愛思強CRIUS? MOCVD 系統(tǒng)，以推動用于高頻數(shù)據(jù)傳輸應用的碳化硅基氮化鎵器件產品的生產。訂單是在2014 年第一季度發(fā)出，該系統(tǒng)將于第三季度交付予橫濱SEDI 的電子設備部門。

日本住友電氣工業(yè)株式會社所屬Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. (SEDI)已訂購一套4 英寸晶圓規(guī)格AIXTRON 愛思強CRIUS? MOCVD 系統(tǒng)，以推動用于高頻數(shù)據(jù)傳輸應用的碳化硅基氮化鎵器件產品的生產。訂單是在2014 年第一季度發(fā)出，該系統(tǒng)將于第三季度交付予橫濱SEDI 的電子設備部門。

SEDI 預期2015 年其產品將開始出現(xiàn)需求上升的趨勢并為此做以準備。對于高成本的碳化硅基的產品生產而言，沉積均勻性及工藝的精準控制至關重要，選用AIXTRON 系統(tǒng)正是基于其產品在此方面具有極佳的聲譽。這款全新的反應器配備動態(tài)間隙調整、ARGUS 實時溫度控制和EpiCurveTT 駐在監(jiān)測系統(tǒng)等輔助功能。ARGUS 監(jiān)控裝置可提供全部晶圓的實時溫度映像,從而實現(xiàn)對生產工藝的最佳操控，同時噴淋頭與基材之間間隙的可調整功能則展現(xiàn)了設備的靈活性。

SEDI 已在行內建立了良好聲譽，是目前部分最佳高頻器件的供應商。該公司提供適用于雷達、移動電話基站及一般應用的各種氮化鎵HEMT（高電子遷移率晶體管）器件。這些碳化硅基氮化鎵HEMT 設備的高頻功率可放大至14 千兆赫。