全球領(lǐng)先的200mm純晶圓代工廠──華虹半導(dǎo)體有限公司與上海硅?？萍加邢薰窘袢展餐?，聯(lián)合推出新一代單芯片三軸陀螺儀QMG6982。這標(biāo)志著由硅?？萍己腿A虹半導(dǎo)體共同研發(fā)和生產(chǎn)的國內(nèi)首款完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的單芯片三軸陀螺儀在上海問世。此為繼雙方2013年以來成功發(fā)布磁傳感器和加速度傳感器之后又一款里程碑的產(chǎn)品。該款陀螺儀芯片由硅?？萍甲灾餮邪l(fā)，采用華虹半導(dǎo)體先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)合作而成。雙方通過設(shè)計(jì)和工藝創(chuàng)新，首次將MEMS陀螺儀器件和專用集成電路(ASIC)器件集成在單一硅片上，從而簡化了內(nèi)部連線，減少了內(nèi)部封裝的綁定金線，提升了封裝可靠性，因此較上一代產(chǎn)品體現(xiàn)出更高的性能和良率。硅?？萍伎偛弥x志峰博士說，“陀螺儀是運(yùn)動傳感器中最具挑戰(zhàn)性的一款產(chǎn)品，目前智能終端市場完全被少數(shù)幾個國際大公司的產(chǎn)品所壟斷。硅?？萍奸_發(fā)的QMG6982產(chǎn)品是國內(nèi)MEMS設(shè)計(jì)企業(yè)的一次突破性創(chuàng)新，滿足了客戶對低成本和高性能MEMS傳感器日益增長的需求。其所具有的小尺寸、低功耗、高精度、抗干擾的優(yōu)異特點(diǎn)，再次證明硅?？萍嫉难邪l(fā)能力已達(dá)到國際先進(jìn)水平。尤其值得一提的是，作為一家專注MEMS傳感器產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)的高科技企業(yè)，三年來，已與華虹半導(dǎo)體共同推出了五款傳感器產(chǎn)品。雙方日益成熟的戰(zhàn)略合作，進(jìn)一步增強(qiáng)了各自在MEMS產(chǎn)業(yè)鏈上的優(yōu)勢地位，而雙方創(chuàng)導(dǎo)的『中國創(chuàng)造與中國制造』的理念，更凸顯出其技術(shù)和資本優(yōu)勢，并成為全球MEMS市場上的一支新興力量。 ”“憑借研發(fā)創(chuàng)新實(shí)力，華虹半導(dǎo)體在200mm CMOS-MEMS制造平臺上，成功實(shí)現(xiàn)了MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容，可為客戶提供單芯片集成CMOS-MEMS體硅和表硅工藝，幫助客戶提高傳感器產(chǎn)品的性能和競爭優(yōu)勢。華虹半導(dǎo)體將充分利用其業(yè)界領(lǐng)先的嵌入式存儲器、射頻以及超低漏電CMOS技術(shù)工藝，針對不同的傳感器應(yīng)用，配以兼具功耗和面積優(yōu)勢的嵌入式存儲器IP，以此減小系統(tǒng)功耗，并降低芯片成本。同時使MEMS設(shè)計(jì)更為靈活，應(yīng)用空間更為廣闊。”華虹半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁傅城博士如是說。傅城博士還表示，“根據(jù)IHS的資料，MEMS傳感器市場于2014年的規(guī)模為93億美元，并預(yù)測于2019年增至130億美元，年復(fù)合增長率為7%。MEMS傳感器是華虹半導(dǎo)體一個新的增長機(jī)會。我們正在加大與硅?？萍嫉暮献鳎餐_發(fā)新興高增長移動市場的MEMS傳感器，并延伸至應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)等其他MEMS傳感器市場。”