IC半導(dǎo)體業(yè)大震撼!國際通用百年的“公斤”定義明年將改變，但隸屬中國臺灣經(jīng)濟(jì)部的度量衡標(biāo)準(zhǔn)實驗室卻傳出目前仍籌不到經(jīng)費無法跟進(jìn)，公斤量測校正標(biāo)準(zhǔn)將降為二級。如此將沖擊講求精準(zhǔn)度的“納米”晶圓制程校正，臺灣引以為傲的IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)良率恐將大幅拉低。

臺灣量測標(biāo)準(zhǔn)降為二級

臺灣經(jīng)濟(jì)部標(biāo)檢局昨日舉辦“國際計量趨勢研討會”，邀請國際度量衡委員會主席Dr. Barry Inglis等美日德專家，探討計量在產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中的運用與貢獻(xiàn)。國際度量衡委員會并與我國分享明年初將上路的四項國際單位制定義新改變，包括“公斤”(質(zhì)量)、“克耳文”(溫度)、安培(電流)、莫耳(物理量)。

標(biāo)檢局官員指出，這四項中最重要的是“公斤”定義改變。過去準(zhǔn)確衡量1公斤，靠的是質(zhì)量1公斤的“鉑銥公斤原器”，臺灣1995年引進(jìn)放在新竹工研院的國家度量衡研究室。但這個公斤原器過去100年卻飄移50微克，相當(dāng)一顆直徑0.4毫米的小沙粒，準(zhǔn)確度產(chǎn)生偏差，因此國際度量衡大會明年將公布，改以物理性的“普朗克常數(shù)”去定義。

生產(chǎn)設(shè)備校正受影響

國際單位制度改變，臺灣當(dāng)然也得跟進(jìn)，不過因為提升實驗室相關(guān)檢測設(shè)備要花6億臺幣，經(jīng)濟(jì)部標(biāo)檢局面臨“無錢可編”的窘境，將無法在明年跟上國際腳步。不過如此卻暗藏產(chǎn)業(yè)的大沖擊，尤其制程是以“納米”(10億分之一公尺)計算的IC半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

在半導(dǎo)體制程中，晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆要仰賴特定化學(xué)溶液，標(biāo)檢局官員指出，這些化學(xué)溶液量測如果有一點點誤差，都會影響良率。未來一旦臺灣跟不上國際最新腳步，國家度量衡實驗室的“鉑銥公斤原器”將被降為二級標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)機(jī)器設(shè)備校正會受影響。因國際標(biāo)準(zhǔn)拉高，相對臺灣半導(dǎo)體良率會被拉低。

以先進(jìn)的臺積電與聯(lián)電晶圓制程來說，良率均高達(dá)9成5，新標(biāo)準(zhǔn)改變將被拉低多少良率?臺灣標(biāo)檢局官員分析，這將視不同產(chǎn)線與產(chǎn)品而定，但公斤新標(biāo)準(zhǔn)會比舊的精準(zhǔn)2到4倍，將有一定程度影響。該局也只能極力爭取預(yù)算，目前仍無著落。