吉時(shí)利 (Keithley) 儀器公司日前發(fā)布了以“克服先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)的測(cè)量挑戰(zhàn)：DC、脈沖和RF－從建模到制造”為標(biāo)題的半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)參考手冊(cè)。140頁的手冊(cè)描述了當(dāng)半導(dǎo)體制造商進(jìn)入65nm工藝甚至更小時(shí)所遇到的測(cè)量挑戰(zhàn)。 手冊(cè)集合了吉時(shí)利半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試和器件特性分析專家們的經(jīng)驗(yàn)和來自用戶的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。它涉及到新興的多種技術(shù)和工藝，例如：· RF晶圓測(cè)試的挑戰(zhàn)· 柵極介電可靠性測(cè)試· 電荷泵和可靠性· 高頻電容測(cè)量· 銅工藝測(cè)試· 先進(jìn)的SMU DC 測(cè)量該手冊(cè)中還包含了半導(dǎo)體工業(yè)的通用術(shù)語表，包括了測(cè)試和測(cè)量術(shù)語。需要免費(fèi)獲得一本，請(qǐng)?jiān)L問http://www.keithley.cn/pr/pr014.htm.