據(jù)Semiconductor Reporter網(wǎng)站報(bào)道， CyberOptics半導(dǎo)體公司日前宣布已開(kāi)發(fā)出掩模版形狀的無(wú)線(xiàn)自動(dòng)水平檢測(cè)系統(tǒng)，將用于掩模版夾持設(shè)備的自動(dòng)檢測(cè)。該檢測(cè)系統(tǒng)將幫助使用者防止對(duì)準(zhǔn)偏差、刮擦、以及顆粒產(chǎn)生。有助于提高良率和掩模版使用壽命。這套編號(hào)為WaferSense ALSR的系統(tǒng)是在原先WaferSense ALS的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)出來(lái)。使用傳感器檢測(cè)掩模版的傾斜狀況，并通過(guò)無(wú)線(xiàn)信號(hào)與機(jī)器溝通進(jìn)行調(diào)整，保證了生產(chǎn)的正常進(jìn)行。該設(shè)備可以保證+/-0.3度以?xún)?nèi)的傾斜角度。