據(jù)Reed Electronics網(wǎng)站報道，薄膜測量與缺陷檢測設備供應商Rudolph Technologies, Inc.近期宣布，該公司新一代全表面缺陷探測系統(tǒng)已經(jīng)開始向美國閃存制造商交貨。該系統(tǒng)將用于圓片快速前端檢測，AXi935缺陷檢測系統(tǒng)集成了新型E25圓片邊緣檢測模塊。AXi 935在繼承了AXi 930的優(yōu)勢基礎上，在實現(xiàn)高指標檢測的基礎上，可以提供更強的生產(chǎn)能力。AXi 935與E25在同一平臺上的集成，可以實現(xiàn)前表面與圓片邊緣的同時自動檢測。同時數(shù)據(jù)將時時反饋，以實現(xiàn)圓片的自動配置。E25圓片邊緣檢測模塊包含了多項新的增強型特征，例如針對邊緣芯片和裂紋的光亮照明、增強表面覆蓋率、簡化生產(chǎn)流程與優(yōu)化檢測算法等。