光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展需要不斷的創(chuàng)新，尤其是重大科研儀器設(shè)備的研發(fā)，能夠轉(zhuǎn)化為巨大推動力。近日，國家重大科研儀器設(shè)備研制專項——“1.5米掃描干涉場曝光系統(tǒng)”項目啟動，將推動多個領(lǐng)域技術(shù)發(fā)展，以及光電子產(chǎn)業(yè)技術(shù)提升。

該項目由中科院長春光機(jī)所承擔(dān)，項目總經(jīng)費為8300萬元，研制周期為5年。該項目將突破多項關(guān)鍵技術(shù)，如精密光機(jī)結(jié)構(gòu)加工、測量及系統(tǒng)裝調(diào)技術(shù)，干涉場測量及相位鎖定技術(shù)、關(guān)鍵環(huán)境控制技術(shù)等，通過干涉場步進(jìn)掃描曝光方式獲得大面積高精度全息光柵。

隨著我國航天事業(yè)的發(fā)展，深空探測已經(jīng)成為發(fā)展的主要趨勢，但這需要大量的先進(jìn)技術(shù)與設(shè)備支撐。進(jìn)行深空探測等研究，對光柵的要求并不是普通產(chǎn)品能夠滿足的，特種光柵的研制就顯得十分重要了。該項目獲得的大面積高精度全息光柵能夠滿足深空探測需求，推動我國航天事業(yè)發(fā)展。此外還適用于激光慣性約束核聚變等科學(xué)研究。該項目的研究不僅滿足了我國深空探測對特種光柵的需求，同時也將帶動吉林省光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。