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真空泵

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應用材料將真空泵和除害裝置的運行成本削減20％以上

美國應用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來還計劃應用于蝕刻裝置。Applie

電子設計自動化
2009-12-08

真空泵應用材料公司 APPLIED 控制

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