美國應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量,將運行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供,將來還計劃應(yīng)用于蝕刻裝置。
Applied iSYS根據(jù)制程艙內(nèi)的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如,應(yīng)用于CVD裝置時,在成膜時及清潔時運行真空泵和除害裝置,其他時間使其處于備用狀態(tài)。這樣,可減少用電量及煤氣用量等。應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的全部CVD工序時,每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬美元以上。
據(jù)應(yīng)用材料公司介紹,大型半導(dǎo)體廠商已相繼提出能源削減目標。在半導(dǎo)體工廠的能源消耗中,制造裝置占45%,制造裝置所附帶的裝置占42%,其余13%來自照明等。
根據(jù)害蟲控制公司Orkin最新發(fā)布的“美國鼠患最嚴重的城市”年度調(diào)查,芝加哥連續(xù)第八年排在第一。報告統(tǒng)計時間從2021年9月1日至2022年8月31日,包括住宅樓和商業(yè)地產(chǎn)。紐約上升至第二,洛杉磯第三。每年秋季,老鼠和其...
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