??? 半導體或芯片的90nm、65nm 、0.25um、0.18um等是IC工藝先進水平的主要指標。這些數(shù)字表示制作半導體或芯片的技術節(jié)點（technologynode），也稱作工藝節(jié)點。IC生產(chǎn)工藝可達到的最小導線寬度,實際物理意義有“半節(jié)距”、“物理柵長”、“制程線寬”等。線寬越小, 集成的元件就越多，在同一面積上就可以集成更多電路單元，同時功耗也越低。但是隨著線寬縮小，需要的工藝設備越來越復雜，設計難度也增加，相應增加了成本，這方面需要綜合考慮。

??? 半導體業(yè)界通常使用“半節(jié)距”、“物理柵長（MOS管柵極的長度）”和“結深”等參數(shù)來描述芯片的集成度，這些參數(shù)越小，芯片的集成度越高。舉個例子，某種芯片采用90nm工藝，其中半節(jié)距為90nm，而晶體管的物理柵長為37nm。半節(jié)距（half-pitch），是指芯片內(nèi)部互聯(lián)線間距離的一半，也即光刻間距的一半。由于歷年來每一個新的技術節(jié)點總是用于制造DRAM芯片，因此最新的技術節(jié)點往往是指DRAM的半節(jié)距。另外，在技術文章中還有兩種與“半節(jié)距”意義相近的表達方式，就是“線寬”、“線距”和“特征尺寸”，如果線寬等于線距，則半節(jié)距就等于線寬、線距，它們不過是對同一個數(shù)據(jù)的不同表達。

??? 一旦到納米級的時候由于芯片功耗的不斷增加，互連線上的電流密度也越來越大，有可能造成了細線上的電遷移現(xiàn)象。在芯片制造過程中晶體管的柵極聚集的電荷可能會使柵擊穿即產(chǎn)生天線效應?；ミB線間的耦合電容的存在會導致一條線上的信號跳變時引起另一條線的信號穩(wěn)定性，即發(fā)生串擾現(xiàn)象。

??? 下面我們來了解一下0.35um的工藝和0.18um的工藝區(qū)別，其工藝區(qū)別主要在前端。比較如下：

工藝尺寸

隔離方式

SAB

GATE生長

金屬層

電容

gate

0.18um

STI

CO

不用DOPE

5M以上

PIP

長摻雜poly

0.35um

local

TI

用DOPE

2P3/2P4M

MIM

不長poly

0.18用了STI，0.35的話可以用local的方法進行隔離；

0.18用CO做SAB，0.35的是用的TI；

0.18的GATE生長是不用DOPE的，在后續(xù)S/D的時候一起打了，0.35的話是DOPE的；

然后0.18的金屬層要比0.35的多一些.一般看到0.35的都是2P3或者2P4M的，0.18的話一般都是5M以上了，還有就是0.35多用PIP做電容，0.18的話多用MIM做電容。

0.18gate下長一層沒有參雜的poly，再注入雜質(zhì)，這樣可以精確的控制poly的電性參數(shù)。0.35gate直接長參雜的poly，因為0.35對poly的電性參數(shù)的要求不是很高。

?

關于中芯國際0.18um工藝的問題

?

1.中芯國際公司的SMIC 0.18um工藝，上面明白寫著有5V的工藝，而為什么在我這個庫里面沒有5V的管子，因為我這個是logic signal的庫嗎，還有一個Mix-signal庫嗎？
答：0.18um logic/mix-signal baseline 的工藝為1.8V/3.3V
? ???在baseline 的工藝有 5V tolerance 的 ESD I/O
? ? 另外有 0.18um Logic 1P6M(1P5M,1P4M) Salicide 1.8V/5V or??1.8V/5.5V Ultra Low Leakage (ULL) process? ?及 1.8V/5.5V/32V High-Voltage LDMOS process


2.在工藝中有native NMOS和Medium NMOS，看了這么模型和正常MOS管如n18的參數(shù)進行比較，主要區(qū)別在于閾值電壓的不同，能提供一些native NMOS和Medium NMOS的應用情況嗎？

Native device 及 Medium device 會用在 low-volage 或 low-power 電路
? ? 其中Native device 不需要額外的 Mask, 而 Medium device 則需要額外的 Mask.

3.管子的工作電壓問題！比如3.3V IO PMOS MODEL中的管子長期正常工作電壓在是要保證源漏、柵源、漏襯等各個兩端電壓不超過3.3的10%左右，請問這個在哪兒可以查到，只有去問 foundry了嗎？這些電壓的大小與工藝的什么有關，是不是工藝定了，對于一個特定的管子3.3V IO PMOS MODEL就不能改變這些了。管子的齊納擊穿電壓和雪崩擊穿電壓又怎么查？我記得這個是用軟件可以測出來，不過foundry也應該給這個數(shù)據(jù)，對嗎？

3. 3V IO MOS 的規(guī)格, 可以參考 foundry 給 ESD IO datasheet 或 foundry 工廠的 reliability report.