根據外媒的報道，三星晶圓廠已經認證了Cadence和Synopsys的全流程工具，該工具采用了極紫外光刻（EUV）的5LPE工藝技術。

三星晶圓廠使用Arm Cortex-A53和Arm Cortex-A57內核認證了用于5LPE技術的Synopsys融合設計平臺以及Cadence全流程數(shù)字工具。該認證意味著這些工具滿足三星晶圓廠要求。

三星的5LPE技術依賴于具有新標準單元架構的FinFET晶體管，并使用DUV和EUV步進掃描系統(tǒng)。與7LPP相比，新技術的“邏輯效率”提高了25%，芯片開發(fā)人員可將芯片設計的功耗降低20%或將性能提高10%。

由三星認證的Candence和Synopsys的工具集包括編譯器、驗證器、電源電路優(yōu)化器以及EUV專用工具。

由于三星的5LPE比其7LPP工藝使用更多的EUV層，因此預計它將用于三星華城的EUV工廠。該生產線將耗資6萬億韓元（46.15億美元），預計將于2019年完工，并于2020年開始大批量生產。