引言

液體靜壓技術(shù)于1983年被應(yīng)用到天文望遠(yuǎn)鏡上隨后逐漸應(yīng)用于超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)。國(guó)內(nèi)開(kāi)始研究液體靜壓技術(shù)的時(shí)間相對(duì)國(guó)外較晚我國(guó)液體靜壓技術(shù)的發(fā)展經(jīng)歷了原理驗(yàn)證、生產(chǎn)性試驗(yàn)、理論研究、技術(shù)應(yīng)用這4個(gè)階段。經(jīng)過(guò)摸索與探討我國(guó)靜壓導(dǎo)軌技術(shù)的研究已初具規(guī)模。液體靜壓導(dǎo)軌技術(shù)具有高精度、高剛度、抗震性好、工作壽命長(zhǎng)、工況穩(wěn)定且摩擦力小等特點(diǎn)，因此目前廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床的進(jìn)給系統(tǒng)以提高工件的加工精度。

德國(guó)海浮樂(lè)公司在液體靜壓導(dǎo)軌項(xiàng)目上的研究處于世界領(lǐng)先水平該公司提出了將液體靜壓導(dǎo)軌模塊化的概念所謂"模塊化"是指液體靜壓導(dǎo)軌滑塊集流量控制器、靜壓油腔、油腔壓力傳感器于一體且集成化的靜壓滑塊具有較高的互換性。我國(guó)在液體靜壓導(dǎo)軌技術(shù)方面相對(duì)來(lái)說(shuō)較落后無(wú)法對(duì)靜壓導(dǎo)軌滑塊進(jìn)行模塊化處理。

流量控制器的原理方法也不盡相同德國(guó)海浮樂(lè)公司采用PM(Progressive Mengen）流量控制器進(jìn)行液壓油流量、油壓的控制如圖1所示。PM流量控制器是一種預(yù)壓調(diào)型單面薄膜反饋節(jié)流器液壓油進(jìn)入PM流量控制器后分為兩部分一部分調(diào)節(jié)腔室油壓以達(dá)到預(yù)緊的目的另一部分則沿本體底部進(jìn)入矩形的節(jié)流槽其對(duì)油膜厚度的控制已達(dá)到世界頂尖水平。而我國(guó)普遍采用雙薄膜反饋式流量控制器主要利用兩個(gè)薄膜的反饋對(duì)油膜厚度進(jìn)行調(diào)控其控制精度不如德國(guó)海浮樂(lè)公司的PM流量控制器。

圖1PM流量控制器結(jié)構(gòu)示意圖藝

目前實(shí)現(xiàn)對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌流量控制器的自主研發(fā)是液體靜壓導(dǎo)軌研究中的重要任務(wù):若研發(fā)成功我國(guó)超精密機(jī)床進(jìn)給機(jī)構(gòu)的發(fā)展將向前邁進(jìn)一大步我國(guó)的超精密機(jī)床技術(shù)也會(huì)有所進(jìn)步。

1液體靜壓導(dǎo)軌工作原理

液體靜壓導(dǎo)軌按結(jié)構(gòu)可分為開(kāi)式靜壓導(dǎo)軌與閉式靜壓導(dǎo)軌從供油方式又可分為定量式與定壓式藝。本文以閉式定壓液體靜壓導(dǎo)軌為例闡述液體靜壓導(dǎo)軌的工作原理。

閉式定壓液體靜壓導(dǎo)軌是在上下兩個(gè)相對(duì)運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)軌面通入一定壓力且保持不變的壓力油形成一層具有一定承載能力與剛度的油膜使上下兩個(gè)導(dǎo)軌面分開(kāi)浮于油膜之上如圖2所示。通過(guò)流量控制器調(diào)節(jié)油膜使油膜具有一定的承載能力和剛度保證運(yùn)動(dòng)件之間為純液體摩擦從而降低導(dǎo)軌與滑塊之間的摩擦力保證導(dǎo)軌運(yùn)行時(shí)的精度。

圖2閉式定壓液體靜壓導(dǎo)軌工作示意圖

與傳統(tǒng)導(dǎo)軌相比液體靜壓導(dǎo)軌具有明顯的優(yōu)勢(shì):由于導(dǎo)軌之間的摩擦轉(zhuǎn)變?yōu)橐后w摩擦長(zhǎng)時(shí)間使用磨損極小:如果導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)速度發(fā)生變化對(duì)油膜的剛度以及厚度的影響都極小。

2液體靜壓導(dǎo)軌性能影響因素分析

2.1油膜厚度影響

液體靜壓導(dǎo)軌的主要性能指標(biāo)為承載能力和剛度這兩個(gè)指標(biāo)均與油膜相關(guān)。由于上下導(dǎo)軌是通過(guò)油膜連接油膜起到了支承進(jìn)給系統(tǒng)裝置及工件的作用所以需要油膜具有一定的承載能力和剛度。如果油膜過(guò)厚導(dǎo)軌會(huì)發(fā)生"漂移"現(xiàn)象而油膜過(guò)薄又會(huì)導(dǎo)致油膜的剛度和承載能力不夠上下導(dǎo)軌的摩擦又變成固體摩擦。因此油膜厚度對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌的性能有著很大的影響。國(guó)內(nèi)外很多學(xué)者對(duì)油膜厚度進(jìn)行了深度研究。在趙建華等人藝的研究中基于力學(xué)平衡方程與流量方程以閉式液體靜壓導(dǎo)軌為研究對(duì)象建立靜動(dòng)態(tài)特性數(shù)學(xué)模型剖析了油膜厚度對(duì)導(dǎo)軌性能的影響得出油膜厚度越小其動(dòng)靜態(tài)特性越好總功率損失越小的結(jié)論。

在油膜厚度的相關(guān)研究中眾多學(xué)者也將如何控制油膜厚度作為研究課題。有國(guó)內(nèi)學(xué)者提出了基于矢量變頻調(diào)速技術(shù)的液體靜壓導(dǎo)軌油膜厚度開(kāi)環(huán)控制系統(tǒng),此方法既保證了控制精度,又減少了能源的損耗。

2.2流量控制器影響

流量控制器在液體靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng)中主要控制油膜壓力與厚度,這是決定靜壓導(dǎo)軌的承載能力與剛度的重要指標(biāo),因此流量控制器在整個(gè)液體靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng)中起著至關(guān)重要的作用。目前,國(guó)外主要應(yīng)用海浮樂(lè)公司研發(fā)的單薄膜片反饋PM流量控制器,其精度可以達(dá)到控制油膜厚度的變化不超過(guò)2.5μm,而國(guó)內(nèi)研制的雙薄膜反饋式流量控制器則不能達(dá)到PM流量控制器的精度,在流量控制器方面我國(guó)仍處于追趕狀態(tài)。

在高殿榮等人的研究中,以基于PM流量控制器的矩形對(duì)置油墊為研究對(duì)象,著重剖析了比流量、初始流量以及泵壓等參數(shù)對(duì)靜壓導(dǎo)軌油膜承載能力及動(dòng)靜態(tài)特性的影響,并得出了比流量、初始流量越大,泵壓越小,其剛度越大的結(jié)論。

在施晨淳等人的研究中,以四油墊閉式液體靜壓導(dǎo)軌為研究對(duì)象,同樣使用的是PM流量控制器,得出了在初始流量、比流量以及供油壓力3個(gè)參數(shù)中,初始流量對(duì)運(yùn)動(dòng)精度的影響較為顯著的結(jié)論。

國(guó)內(nèi)的眾多研究大都是以PM流量控制器作為主要的油膜控制裝置來(lái)研究其對(duì)油膜承載能力和剛度的影響。對(duì)于雙薄膜反饋式流量控制器作為液壓油控制單元的液壓導(dǎo)軌,研究的資料較少,但所比對(duì)的參數(shù)相同,研究方法也大致相同。

2.3熱變形影響

通常情況下,液體靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng)主要由導(dǎo)軌、流量控制器以及油泵組成。在工作過(guò)程中,導(dǎo)軌之間的摩擦?xí)a(chǎn)生大量的熱,從而導(dǎo)軌產(chǎn)生熱變形,影響工件的加工精度。目前,已有許多高校和科研機(jī)構(gòu)對(duì)靜壓導(dǎo)軌的熱變形問(wèn)題進(jìn)行了深入研究。

在江云等的研究中,通過(guò)ANSYS建立了靜壓導(dǎo)軌的熱特性有限元模型,并經(jīng)過(guò)多次模擬仿真,得出電機(jī)勻速運(yùn)行時(shí),發(fā)熱來(lái)源主要為油膜,其發(fā)熱量不大,影響較小:電機(jī)變速運(yùn)行時(shí),發(fā)熱來(lái)源主要為電機(jī),發(fā)熱影響較大:同時(shí)也給出了強(qiáng)制對(duì)流冷卻、采用熱膨脹系數(shù)小的材料、控制液壓油溫度以及避免電機(jī)做高速和變加速運(yùn)動(dòng)等改善措施。

在畢超等人的研究中,同樣建立了液體靜壓導(dǎo)軌的有限元模型,模擬靜壓導(dǎo)軌不同工作條件下的溫度變化以及熱變形情況,分析了熱量的來(lái)源,給出了不同工況下的變形量以及熱變形的解決措施:并對(duì)采用了冷卻措施的導(dǎo)軌進(jìn)行熱變形仿真計(jì)算,結(jié)果表明,采用冷卻措施的導(dǎo)軌熱變形量小,符合超精密機(jī)床的要求,其研究結(jié)果具有一定的參考價(jià)值。

在Liu Teng等人的研究中,建立了液體靜壓進(jìn)給系統(tǒng)的熱特性有限元仿真模型,研究了進(jìn)給系統(tǒng)的熱特性,并探索了減小熱變形的技術(shù)措施。

3結(jié)語(yǔ)

本文介紹了液體靜壓導(dǎo)軌的工作原理,總結(jié)了眾多學(xué)者在油膜厚度、流量控制器及熱變形上的研究成果,指出影響液體靜壓導(dǎo)軌性能的主要因素為油膜厚度、流量控制器參數(shù)以及靜壓導(dǎo)軌工作產(chǎn)生的熱量引發(fā)的導(dǎo)軌熱變形。后續(xù)可著重對(duì)油膜厚度及流量控制的重要參數(shù)進(jìn)行研究,并考慮導(dǎo)軌摩擦、電機(jī)發(fā)熱等因素引起的導(dǎo)軌熱變形問(wèn)題,以合理妥善的方法對(duì)熱變形進(jìn)行處理。可以預(yù)見(jiàn),未來(lái)液體靜壓導(dǎo)軌滑塊會(huì)朝著集成化與具有較高互換性的方向發(fā)展。