（全球TMT2022年8月2日訊）中微半導體設備（上海）股份有限公司迎來成立18周年的"成年禮"。自2004年成立以來，中微致力于開發(fā)和提供具有國際競爭力的微觀加工的高端設備，現(xiàn)已發(fā)展成為國內高端微觀加工設備的領軍企業(yè)之一。從2007年首臺CCP刻蝕設備研制成功并交付客戶起，中微公司等離子體刻蝕設備不斷突破創(chuàng)新，其產品從65納米到14納米、7納米、5納米等均已在國際一線客戶的集成電路加工制造及先進封裝中得到批量應用。此外，中微公司用于氮化鎵基LED外延生產的MOCVD設備自2012年研制成功并交付客戶，現(xiàn)已在行業(yè)領先客戶生產線上大規(guī)模投入量產。

2021年，中微公司研發(fā)同比增長13.8%，占2021年營業(yè)收入的比重為23.42%。持續(xù)的研發(fā)投入和深厚的技術儲備，為中微公司成為了國內半導體龍頭企業(yè)提供保障：截至2021年年底，公司已擁有多項自主知識產權和核心技術，申請專利達2012項，其中發(fā)明專利達1741項；已獲授權專利達1179項，其中發(fā)明專利達993項。