隨著先進(jìn)制程技術(shù)的不斷演進(jìn)，高效的自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)已成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的不可或缺的一部分，而半導(dǎo)體制造對(duì)生產(chǎn)效率和精度的要求不斷提升，使智能信息化成為AMHS生產(chǎn)過(guò)程安全、高效管理的關(guān)鍵。

作為中國(guó)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造AMHS(自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng))整體解決方案提供商，彌費(fèi)科技聚焦AMHS智能制造，以符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)識(shí)別產(chǎn)品為信息載體，自主研發(fā)了系列傳感控制設(shè)備，為AMHS天車(chē)系統(tǒng)、存儲(chǔ)設(shè)備、半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備等生產(chǎn)過(guò)程信息化提供一整套應(yīng)用解決方案。

此次發(fā)布的三款傳感控制設(shè)備，均以非接觸式自動(dòng)識(shí)別技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體傳輸物料的精準(zhǔn)識(shí)別與數(shù)據(jù)讀取。

RFID Reader系統(tǒng)由標(biāo)簽、讀寫(xiě)器和天線(xiàn)組成，常用于在半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)晶圓盒上的射頻標(biāo)簽進(jìn)行數(shù)據(jù)讀寫(xiě)操作。機(jī)臺(tái)設(shè)備可以通過(guò)讀寫(xiě)射頻標(biāo)簽上保存記錄的ID、制造批次、制造過(guò)程說(shuō)明等信息，實(shí)現(xiàn)晶圓生產(chǎn)過(guò)程的追蹤和控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。彌費(fèi)科技自研的RFID Reader 符合SEMI半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)，兼容TI公司的CID載體，讀取距離最大可達(dá)到90mm。

RFID Reader在12吋晶圓傳送設(shè)備Foup Stocker中的通信應(yīng)用

SmartTag Reader則基于紅外技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)標(biāo)簽信息的讀取，并通過(guò)紅外信號(hào)向操作員和自動(dòng)化物料傳送系統(tǒng)(AMHS)提供過(guò)程和狀態(tài)信息。彌費(fèi)科技自研的SmartTag Reader符合SEMI半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)，使用RS485通信接口，最大工作距離達(dá)7cm。

SmartTag Reader在8吋晶圓傳送設(shè)備Pod Stocker中的通信應(yīng)用

E84傳感器則是基于SEMI E84協(xié)議的工作原理，采用IR技術(shù)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)設(shè)備與AMHS之間的高效、可靠晶圓載體自動(dòng)交換。E84 Sensor不僅提高了晶圓在轉(zhuǎn)移過(guò)程中的安全性和準(zhǔn)確性，還通過(guò)增強(qiáng)SEMI E23中定義的并行I/O接口能力，支持了更高水平的傳輸可靠性和效率。

E84在天車(chē)OHT與晶圓傳送設(shè)備Foup Stocker中的通信應(yīng)用

識(shí)別控制系統(tǒng)作為AMHS傳輸與通訊的核心零部件設(shè)備，產(chǎn)品的自主可控性對(duì)與半導(dǎo)體行業(yè)至關(guān)重要。彌費(fèi)科技基于在半導(dǎo)體AMHS整體解決方案領(lǐng)域的技術(shù)和市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)，專(zhuān)注于開(kāi)發(fā)能夠提升AMHS生產(chǎn)效率與精度的產(chǎn)品。此次發(fā)布的AMHS識(shí)別控制系統(tǒng)設(shè)備不僅在關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)上達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，完全自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)對(duì)于客戶(hù)來(lái)說(shuō)，意味著更加可靠和穩(wěn)定的供應(yīng)鏈保障，有助于降低運(yùn)營(yíng)成本和風(fēng)險(xiǎn)，保障生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性，增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

對(duì)于AMHS核心零部件領(lǐng)域的深耕，彌費(fèi)科技不僅能夠更好地滿(mǎn)足客戶(hù)需求，同時(shí)進(jìn)一步優(yōu)化了供應(yīng)鏈成本和質(zhì)量，提升了AMHS整體解決方案的競(jìng)爭(zhēng)力，加速其全球化布局。持續(xù)的創(chuàng)新和迭代能力也使彌費(fèi)科技能夠緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，快速響應(yīng)市場(chǎng)變化，彌費(fèi)科技致力于成為全球半導(dǎo)體AMHS領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，推動(dòng)半導(dǎo)體制造行業(yè)向更加智能、高效的方向發(fā)展。