全新推出的PE2O8碳化硅外延機(jī)臺(tái)是對(duì)行業(yè)領(lǐng)先的ASM單晶片碳化硅外延機(jī)臺(tái)產(chǎn)品組合（包含適用于6英寸晶圓的 PE1O6 和適用于8英寸晶圓的 PE1O8）的進(jìn)一步增強(qiáng)。該機(jī)臺(tái)采用獨(dú)立雙腔設(shè)計(jì)，兼容6英寸和8英寸晶圓，可實(shí)現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時(shí)，降低成本。

2024年10月16至18日，ASM先晶半導(dǎo)體亮相于深圳舉辦的首屆灣芯展（SEMiBAY 2024）。在國(guó)際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇上，ASM推出了最新推出的適用于碳化硅外延的新型雙腔機(jī)臺(tái)PE2O8。該產(chǎn)品專為滿足先進(jìn)碳化硅功率器件的制造需求而設(shè)計(jì)，是一款擁有低缺陷率和高工藝一致性的標(biāo)桿性外延機(jī)臺(tái)，可廣泛應(yīng)用于各類碳化硅器件的制造，在實(shí)現(xiàn)增加產(chǎn)量的同時(shí)，降低擁有成本。

ASM PE2O8碳化硅外延機(jī)臺(tái)

隨著電氣化趨勢(shì)的不斷演進(jìn)，越來越多的功率器件制造商選擇將碳化硅應(yīng)用于需求與日俱增的大功率器件中，這其中就包括電動(dòng)汽車、綠色能源和先進(jìn)數(shù)據(jù)中心等產(chǎn)業(yè)。同時(shí)，越來越多的產(chǎn)業(yè)也對(duì)于碳化硅器件的應(yīng)用提出了低成本的要求，促使碳化硅晶圓從 6英寸到 8英寸的升級(jí)進(jìn)一步加快。此外，受益于當(dāng)下更為先進(jìn)的碳化硅外延技術(shù)，碳化硅設(shè)備制造商設(shè)計(jì)更大功率器件的能力也得到了增強(qiáng)。

得益于其獨(dú)特的雙腔設(shè)計(jì)，PE2O8機(jī)臺(tái)可以通過尤為精確的控制方式沉積碳化硅，實(shí)現(xiàn)了更高產(chǎn)量和吞吐量。其高度緊湊的獨(dú)立雙腔設(shè)計(jì)也有效保障了高生產(chǎn)率和低運(yùn)行成本。此外，PE2O8機(jī)臺(tái)還采用了更為簡(jiǎn)便的預(yù)防性維護(hù)措施，有助于延長(zhǎng)設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間，減少計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間。目前，ASM已向全球多家行業(yè)領(lǐng)先的碳化硅功率器件制造商交付了PE2O8機(jī)臺(tái)。

ASM公司副總裁兼等離子體和外延業(yè)務(wù)部門負(fù)責(zé)人Steven Reiter表示：“碳化硅功率產(chǎn)品正經(jīng)歷著一場(chǎng)關(guān)鍵的技術(shù)轉(zhuǎn)折期?？蛻糁饾u從6英寸晶圓向8 英寸過渡，這一過程勢(shì)必會(huì)對(duì)良率、外延工藝，以及產(chǎn)品缺陷控制等方面提出更高的要求。憑借著新穎的腔室設(shè)計(jì)，ASM已成為了碳化硅領(lǐng)域工藝一致性的行業(yè)標(biāo)桿。而隨著此次PE2O8機(jī)臺(tái)的推出，我們的相關(guān)產(chǎn)品組合也得到了進(jìn)一步升級(jí)，能夠以更低的擁有成本改善工藝控制，客戶創(chuàng)造更高的價(jià)值?！?

自 2022 年以來，ASM 一直在通過公司全新規(guī)劃的碳化硅外延產(chǎn)品部門開發(fā)和完善單晶片碳化硅外延設(shè)備。伴隨著電動(dòng)汽車市場(chǎng)結(jié)構(gòu)性需求的增長(zhǎng)，以及碳化硅晶圓和器件良率的不斷提高，碳化硅外延設(shè)備市場(chǎng)已于近年來實(shí)現(xiàn)了大幅增長(zhǎng)。