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[導(dǎo)讀]1 概述  電容式壓力變送器是應(yīng)用最廣泛的壓力變送器之一。近年來,隨著微電子技術(shù)、微處理器技術(shù)以及現(xiàn)場總線技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了以硅微電容作為壓力傳感器、符合現(xiàn)場總線協(xié)議的智能型壓力/差壓變送器。   2工作

1 概述

  電容式壓力變送器是應(yīng)用最廣泛的壓力變送器之一。近年來,隨著微電子技術(shù)、微處理器技術(shù)以及現(xiàn)場總線技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了以硅微電容作為壓力傳感器、符合現(xiàn)場總線協(xié)議的智能型壓力/差壓變送器。
 

  2工作原理

  (1) CXT結(jié)構(gòu)

  1測量膜片(硅微電容);2固定電極;3金屬化通孔;

  4陶瓷片;5引線;6電極

  圖1 硅微電容傳感器結(jié)構(gòu)圖

  

 

  1波紋座;2隔離膜片;3封液;4測量膜片;5保護(hù)膜片

  圖2 浮動(dòng)膜盒結(jié)構(gòu)

  CXT仍采用電容測量原理,但在結(jié)構(gòu)上和傳統(tǒng)的電容傳感元件有很大不同,電容用硅材料制成,體積特別小,僅9mm×9mm×7mm,故稱硅微電容傳感器。其結(jié)構(gòu)如圖1所示。為了消除被測介質(zhì)溫度和靜壓對測量膜片的影響,變送器采用了獨(dú)特的浮動(dòng)膜盒結(jié)構(gòu)。硅微電容傳感器是整體封裝,周圍被封液包,故稱浮動(dòng)膜盒結(jié)構(gòu),如圖2所示。硅微電容傳感器的膜盒結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)膜盒結(jié)構(gòu)有很大不同,硅微電容傳感器不在膜盒的下部,而是在上部,傳感器移到膜盒上部,遠(yuǎn)離測量介質(zhì),受介質(zhì)溫度變化的影響減小;同時(shí)檢測器內(nèi)部裝有溫度敏感元件,根據(jù)敏感元件測量的溫度,變送器微處理器隨時(shí)修正溫度變化帶來的影響,所以儀表具有優(yōu)異的溫度特性;膜盒基座四周均受壓力作用,所以受靜壓影響極小;保護(hù)膜片不再是測量膜片,當(dāng)單向超壓大于量程3倍時(shí),保護(hù)膜片產(chǎn)生變形,吸收部分封液壓力,從而保護(hù)硅微電容,使變送器抗過壓能力大大增強(qiáng)。

  (2) 感測原理

  圖1中,硅材料膜片形成兩個(gè)電容,設(shè)B、C兩極間電容為C1,A、B兩極間電容為C2,當(dāng)傳感器兩端壓力PH、PL變化時(shí),會(huì)引起硅微電容C1和C2的變化,測量電容的變化量即可計(jì)算出壓力差的大小。圖2是CXT智能變送器電容感測電路的原理簡圖。當(dāng)接通電源時(shí),電容C1通過R1得到充電,C2因開關(guān)S2閉合而為零電位。當(dāng)C1的充電電壓達(dá)到觸發(fā)器Q的門檻電壓時(shí),觸發(fā)電路Q翻轉(zhuǎn),并以R3及C3的時(shí)間常數(shù)控制脈沖開關(guān)輸出。當(dāng)開關(guān)S1接通時(shí),C1放電,C2通過R2充電。與此同時(shí),計(jì)數(shù)器對充放電進(jìn)行重復(fù)計(jì)數(shù),并以N次為1個(gè)循環(huán),計(jì)數(shù)器對N次的脈沖時(shí)間進(jìn)行計(jì)數(shù),最后求得與靜電容量C1成比例的時(shí)間T1(T1已是數(shù)字量),同樣也可求得與靜電容量C2成比例的時(shí)間數(shù)字T2,根據(jù)電容充放電時(shí)間和電容容量的關(guān)系,可得到下式:

  

 

  圖2 CXT感測電路原理簡圖

  

(1)

 

  式(1)中Tc為補(bǔ)正系數(shù);Cs為線性補(bǔ)正電容。

  微處理器對T1、T2和線性補(bǔ)正系數(shù)TC進(jìn)行運(yùn)算,得到與壓力成比例的結(jié)果,即:

  

(2)

 

  式(2)中K為比例系數(shù)。

  (3) 變送原理

  圖3是標(biāo)準(zhǔn)型CXT變送器的工作原理框圖。圖中,傳感膜盒中的EEPROM存放膜盒制造過程中由生產(chǎn)線上的計(jì)算機(jī)采集到的數(shù)據(jù),包括測量范圍、輸入輸出特性、靜壓和溫度特性、修正數(shù)據(jù)等參數(shù);電子單元中的EEPROM中存放變送器調(diào)試過程中儀表的各種參數(shù)。雙存儲器結(jié)構(gòu)使儀表有良好的部件互換性。同時(shí)微處理器根據(jù)兩個(gè)溫度傳感器測得的溫度隨時(shí)修正溫度帶來的影響。

  

 

  圖3 CXT變送電路原理框圖

  CXT標(biāo)準(zhǔn)型帶有HART通訊功能。HART(Highway Addressable Remote Transducer,可尋址遠(yuǎn)程傳感器數(shù)據(jù)公路)是用于現(xiàn)場智能儀表和控制室設(shè)備間通訊的一個(gè)過渡性協(xié)議。所謂“過渡”就是指HART兼容了傳統(tǒng)4~20mA模擬信號與數(shù)字通訊信號。HART協(xié)議采用了Bell202標(biāo)準(zhǔn)的FSK頻移鍵控信號。它在4~20mA的模擬信號上疊加幅度為0.5mA的正弦調(diào)制波,1200Hz代表邏輯“1”,2200Hz代表邏輯“0”。由于所疊加的正弦信號平均值為0,所以不會(huì)影響4~20mA的輸出電流。因此,模擬儀表在數(shù)字通訊時(shí)仍可以照常工作,這是HART標(biāo)準(zhǔn)的重要優(yōu)點(diǎn)之一。

  全數(shù)字通訊是現(xiàn)場儀表發(fā)展的趨勢,CXT還采用了國際現(xiàn)場總線標(biāo)準(zhǔn)中使用最廣泛的FF協(xié)議和Profibus協(xié)議。標(biāo)準(zhǔn)型變送器更換通訊板后,即可升級為全數(shù)字型智能壓力/差壓變送器。3 典型應(yīng)用

 

  (1) 測量壓力/絕壓

  這是最基本的測量方法,只需將引壓管接于正壓室即可實(shí)現(xiàn)。

  (2) 測量流量

  流量是單位時(shí)間內(nèi)流體流過某一截面的總體積或總質(zhì)量。人們在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)當(dāng)流體在經(jīng)過管道某一小于管徑的截面時(shí)會(huì)突然收縮,通過后又會(huì)恢復(fù)原狀,這樣就會(huì)在此截面的兩側(cè)產(chǎn)生一個(gè)壓力差,而此壓力差的平方根與體積流量成正比關(guān)系,即:

  

(3)

 

  對于質(zhì)量流量M,可由下式計(jì)算:

  

(4)

 

  式(3)、(4)中

為體積流量;

為壓力差;

為流體的密度;K為系數(shù)。

 

  為獲得壓力

,只需將CXT差壓變送器的正壓室接截面的高壓側(cè),負(fù)壓室接截面的低壓側(cè)即可。然后用式(3)或式(4)計(jì)算就可以得到此處的流量值。要形成一個(gè)管道截面有多種方法,常用的有孔板、噴嘴、文丘里管、皮托管及均速管等。

 

  (3) 測量液位

  對于一個(gè)儲液容器,容器內(nèi)液位越高,容器底部所受的靜壓力越大,因此只要測出容器底部的靜壓力,就可由下式計(jì)算出液位。

  

(5)

 

  式(5)中h為液位;P為容器底部的靜壓力;

為密度;g為重力加速度。

 

  

 

  圖4 CXT測量液位

  如圖4所示,在開口容器的最低液位點(diǎn)取一引壓點(diǎn),將此壓力引入CXT智能變送器的正壓室,由于液體的密度

和重力加速度g都是已知定值,將CXT測得的壓力代入式(5)即可計(jì)算出液位的高度。同樣,對于密閉容器的液位CXT也能測量。

 

  CXT除了能用在以上工業(yè)參數(shù)測量外,還可用做介位、密度等參數(shù)的測量。4 CXT智能變送器的性能指標(biāo)

 

  (1) 精度 0.07%(標(biāo)準(zhǔn)模式)

  

 

  (2) 溫度特性和靜壓影響

  

 

  

 

  (3) 穩(wěn)定性

  5 結(jié)語

  CXT系列智能壓力/差壓變送器在電廠、石化、化工等行業(yè)的項(xiàng)目中,CXT變送器的使用非常成功,以其可靠性、精確性以及優(yōu)廉性得到用戶的認(rèn)可。

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