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[導(dǎo)讀]高性能MEMS加速度計(jì)為各種集成慣性測量的應(yīng)用提供低成本解決方案。具體例子包括:導(dǎo)航和AHRS系統(tǒng),用于機(jī)器健康狀況檢測的振動(dòng)監(jiān)控,基礎(chǔ)設(shè)施的結(jié)構(gòu)健康狀況監(jiān)控,以及用于平臺(tái)穩(wěn)定、井下定向鉆探的傾斜監(jiān)控、施工行業(yè)平路機(jī)和勘測設(shè)備的調(diào)平、吊車穩(wěn)定系統(tǒng)吊桿傾角測量的高精度傾角計(jì)。在大多數(shù)此類例子中,加速度計(jì)會(huì)經(jīng)受不同幅度的振動(dòng)。這些應(yīng)用的另一個(gè)不同方面是振動(dòng)的頻率成分。振動(dòng)與傳感器和系統(tǒng)誤差源相結(jié)合可能導(dǎo)致振動(dòng)校正,這是高性能加速度計(jì)的一個(gè)重要指標(biāo)。本文說明MEMS加速度計(jì)中的振動(dòng)校正是如何發(fā)生的,并討論各種測量此參數(shù)的技術(shù)。作為案例研究,本文會(huì)討論低噪聲、低功耗加速度計(jì)ADXL355的振動(dòng)校正。低振動(dòng)校正誤差以及所有其他特性,使這款器件成為上述精密應(yīng)用的理想之選。

 振動(dòng)校正的來源

振動(dòng)校正誤差(VRE)是加速度計(jì)對(duì)交流振動(dòng)(被整流為直流)的響應(yīng),表現(xiàn)為加速度計(jì)失調(diào)的異常偏移。在傾角計(jì)等應(yīng)用中,這是一個(gè)重大誤差源,因?yàn)榧铀俣扔?jì)的直流輸出是目標(biāo)信號(hào),失調(diào)的任何改變都可能被錯(cuò)誤地解讀為傾角變化,導(dǎo)致誤差一路向下傳遞,從而引起安全系統(tǒng)誤觸發(fā)、平臺(tái)穩(wěn)定或鉆桅對(duì)準(zhǔn)機(jī)制過度補(bǔ)償?shù)取?/p>

VRE高度依賴于加速度計(jì)所經(jīng)受的振動(dòng)特性曲線,不同應(yīng)用施加于加速度計(jì)的振動(dòng)模式會(huì)不同,因而VRE可能不同。振動(dòng)校正有多種發(fā)生機(jī)制,本文討論其中的兩種。

非對(duì)稱軌

第一種機(jī)制是非對(duì)稱軌。重力產(chǎn)生一個(gè)靜態(tài)1 g (9.8 m/s2)加速度場,當(dāng)加速度計(jì)敏感軸豎直對(duì)齊時(shí),其測量范圍會(huì)有一個(gè)偏移。2 g滿量程范圍的傳感器與重力加速度對(duì)齊時(shí),將只能測量1 g峰值振動(dòng),否則響應(yīng)會(huì)被削波。超過1 g的對(duì)稱激勵(lì)信號(hào)的平均值將不為零,原因是在經(jīng)受額外1 g加速度的方向上,電平會(huì)被削波。

圖1.±2 g滿量程范圍的加速度計(jì)因?yàn)榉菍?duì)稱削波而產(chǎn)生的振動(dòng)校正圖解

圖1中,一個(gè)激勵(lì)振動(dòng)信號(hào)施加于2 g滿量程傳感器上。當(dāng)振動(dòng)為0.3 g rms(300到600樣本之間)時(shí),失調(diào)沒有可觀測的偏移。然而,當(dāng)振動(dòng)為1 g rms(600到1000樣本之間)時(shí),VRE約為–100 mg。

VRE可建模為一個(gè)截?cái)喾植嫉钠骄?,受加速度?jì)滿量程范圍的限制。當(dāng)傳感器在1 g場中經(jīng)受隨機(jī)振動(dòng)時(shí),輸入激勵(lì)信號(hào)可建模為一個(gè)平均值μ= 1 g且標(biāo)準(zhǔn)差σ= X的正態(tài)分布,其中X表示輸入振動(dòng)幅度均方根值。傳感器輸出建模為雙截?cái)嗾龖B(tài)分布,輸出值下界和上界分別為–R和+R,其中R為傳感器的最大范圍。此雙截?cái)嗾龖B(tài)分布的平均值計(jì)算如下:

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