3 靜電防護(hù)

凈化間靜電防護(hù)應(yīng)遵守以下基本原則：

（1）防止靜電荷積聚；（2）建立安全的靜電泄放通路；（3）采取有效的靜電監(jiān)控設(shè)備進(jìn)行系統(tǒng)靜電監(jiān)控.

3.1 良好的接地系統(tǒng)

接地是指把金屬導(dǎo)體與大地連接，使它和大地等電勢(shì)，靜電接地的目的是增快靜電泄漏和導(dǎo)流，使帶電物體的靜電荷得以順利釋放，以避免靜電積聚.凈化間內(nèi)，為了防止靜電串?dāng)_，帶來(lái)額外靜電危害，應(yīng)設(shè)置多路接地，如防靜電接地.交流工作接地.直流工作接地.防雷接地.屏蔽接地等，這些接地共用一個(gè)接地體，接地體由三處埋入地下2 m的角鐵組成，為保證接地效果良好，接地電阻應(yīng)小于4 Ω.

為了消除凈化間靜電防護(hù)死角，防靜電接地采用截面積為100 mm2鍍錫銅排，沿廠房?jī)?nèi)墻高于地面0.3 m敷設(shè)，通過(guò)門檻或過(guò)道處引上吊頂敷設(shè)，在柱子上設(shè)接地端子，如圖3所示.

3.2 良好的靜電消散通道

地面貫穿于整個(gè)凈化間，地面的導(dǎo)電性能直接影響到廠房的防靜電效果，導(dǎo)電性良好的地面可以使地板上的人或物體所帶的電荷能很快地泄露到大地中.根據(jù)防靜電等級(jí)不同，地面可選擇采用不同材料，對(duì)于A級(jí)防靜電區(qū)域，應(yīng)使用導(dǎo)靜電材料，表面電阻率小于1.0×106 Ω/m;對(duì)于其他等級(jí)防靜電區(qū)域，可使用靜電耗散型材料，表面電阻率小于1.0×106~1.0×109 Ω/m.

凈化間內(nèi)墻.天花板等內(nèi)裝修材料應(yīng)具有防靜電功能，墻面.天花板材料的表面電阻率應(yīng)小于1.0×1010 Ω/m.

3.3 良好的環(huán)境控制

環(huán)境的溫濕度對(duì)靜電的控制有重要的影響.

由于水分子具有強(qiáng)極性和高電容率，可以大大降低電子產(chǎn)品的表面電阻率，顯著改善其表面導(dǎo)電性能.增加環(huán)境濕度，使非導(dǎo)體材料的表面電導(dǎo)率增加，則積蓄的靜電荷可以加快泄漏，靜電發(fā)生的程度就降低，濕度過(guò)低則容易產(chǎn)生靜電，過(guò)高設(shè)備易結(jié)露.因此濕度應(yīng)控制在一個(gè)范圍內(nèi)，如30%~75%.溫度對(duì)濕度的影響較大，當(dāng)絕對(duì)濕度一定時(shí)，相對(duì)濕度隨溫度升高而降低.環(huán)境溫度的變化，可能加劇靜電的危害.溫度的變化率不能太大，溫度變化過(guò)于劇烈會(huì)對(duì)設(shè)備精度產(chǎn)生影響，或使元器件表面結(jié)露，同時(shí)使產(chǎn)生靜電的可能性也增大.根據(jù)廠房實(shí)際應(yīng)用需求，可設(shè)定工作溫度范圍，如25±5 ℃.

利用凈化間的環(huán)境封閉特性，預(yù)先設(shè)定合適的溫濕度范圍，通過(guò)空調(diào)自控系統(tǒng)調(diào)節(jié)，確保廠房處于良好的工作環(huán)境，降低靜電危害.

4 靜電監(jiān)控

針對(duì)某些產(chǎn)品裝配對(duì)靜電控制的嚴(yán)格要求，潔凈封裝廠房除了采取傳統(tǒng)的靜電防護(hù)措施外，還需對(duì)靜電產(chǎn)生環(huán)節(jié)進(jìn)行監(jiān)控.記錄.根據(jù)凈化間實(shí)際情況，可采用防靜電門禁系統(tǒng)和靜電在線監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)靜電的有效監(jiān)控.記錄.

4.1 防靜電門禁系統(tǒng)

為了更有效對(duì)靜電進(jìn)行防護(hù)，須從靜電來(lái)源進(jìn)行源頭控制.為此在凈化間中引入防靜電門禁系統(tǒng).防靜電門禁系統(tǒng)是第一道防靜電措施，它能檢測(cè)出每個(gè)進(jìn)入防靜電區(qū)域的工作人員的防靜電措施或裝備是否合格.防靜電監(jiān)控系統(tǒng)功能模塊包括：

員工身份確認(rèn).權(quán)限確認(rèn)以及防靜電腕帶和防靜電鞋的檢測(cè).計(jì)算機(jī)控制中心等.門禁系統(tǒng)靜電閾值按照國(guó)軍標(biāo)要求進(jìn)行設(shè)置.

為確保防靜電門禁的有效性，將門禁系統(tǒng)與通往工作區(qū)的風(fēng)淋門進(jìn)行聯(lián)動(dòng)，即將門禁信號(hào)載入到風(fēng)淋門控制系統(tǒng)中，如圖4所示.人員穿戴好潔凈衣帽鞋后，站在門禁系統(tǒng)的腳踏板上進(jìn)行檢測(cè)，如果檢測(cè)合格，門禁系統(tǒng)向風(fēng)淋門控制系統(tǒng)輸入“1”

信號(hào)，解鎖風(fēng)淋門，人員方可進(jìn)入；如果檢測(cè)不合格，門禁系統(tǒng)向風(fēng)淋門控制系統(tǒng)輸入“0”信號(hào)，風(fēng)淋門被鎖死，人員無(wú)法進(jìn)入.只有采取相應(yīng)去靜電措施，通過(guò)系統(tǒng)監(jiān)測(cè)，方可進(jìn)入工作區(qū).采取這種形式，將傳統(tǒng)的被動(dòng)泄放靜電改為主動(dòng)進(jìn)行靜電監(jiān)控，可有效防止靜電從出入通道進(jìn)入.

檢測(cè)數(shù)據(jù)可上傳到控制中心，在計(jì)算機(jī)內(nèi)自動(dòng)形成記錄文件，對(duì)進(jìn)入工作區(qū)的工作人員身份.檢測(cè)通過(guò)情況進(jìn)行詳細(xì)記錄，如圖4所示，滿足某些特殊產(chǎn)品研制過(guò)程可追溯的要求.

4.2 靜電在線監(jiān)控系統(tǒng)

行之有效的靜電防護(hù)手段之一則是對(duì)凈化間EPA實(shí)現(xiàn)全面網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)監(jiān)控與管理.采用靜電在線監(jiān)控系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)工作人員的接地腕帶.工作臺(tái)面進(jìn)行靜電實(shí)時(shí)監(jiān)控，以及數(shù)據(jù)儲(chǔ)存.分析和考勤等完整的功能集合.

這種系統(tǒng)把腕帶監(jiān)控器.腕帶.網(wǎng)絡(luò)控制器.數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換器和計(jì)算機(jī).軟件等組成一個(gè)完整的靜電監(jiān)控系統(tǒng).腕帶監(jiān)控器對(duì)每個(gè)工作人員的腕帶接地情況.每個(gè)工位工作臺(tái)墊的接地情況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，一旦出現(xiàn)接地故障，系統(tǒng)會(huì)以聲音和燈光的形式報(bào)警，同時(shí)對(duì)這個(gè)工位的接地情況進(jìn)行記錄并存儲(chǔ)起來(lái)，形成了很高的產(chǎn)品研制過(guò)程可追溯性，如圖5所示.靜電在線監(jiān)控系統(tǒng)的最大特點(diǎn)就是實(shí)時(shí)監(jiān)控，將靜電防護(hù)化虛為實(shí).

5 結(jié)束語(yǔ)電子封裝凈化間的靜電防護(hù)工作是一項(xiàng)長(zhǎng)期的系統(tǒng)工程，須貫徹整體防護(hù)思想，采取系統(tǒng)的.有效的方式對(duì)靜電進(jìn)行控制和防護(hù)，形成一個(gè)完整的防護(hù)體系.樹立防靜電的質(zhì)量意識(shí)并使之貫穿在產(chǎn)品的整個(gè)研制過(guò)程中，并采取行之有效的靜電監(jiān)控措施，才能實(shí)現(xiàn)對(duì)靜電的有效防護(hù)，滿足產(chǎn)品的高質(zhì)量.高可靠性的要求.