由于貼片機有兩個主要系統(tǒng)會產(chǎn)生熱量,一是X-Y-Θ運動系統(tǒng),熱源是往復機械運動摩擦和電動機中電能轉化為熱能的部分;二是電氣系統(tǒng)中的功率器件,如電動機驅動器、直流電源和變壓器等。這些熱源主要通過影響X-Y-Θ運動系統(tǒng)來影響設備貼片位置精度。部分設備制造商運用溫度感應器測量貼片頭的溫度,并運用溫度補償?shù)姆绞絹硐捎诃h(huán)境溫度和設備本身的溫度變化對貼片位置精度帶來的影響,如圖1所示。

圖1 溫度補償方式示意圖
但是用溫度反饋進行調節(jié)的范圍是有限的,對于設備應用商來講,需要注意的是,一定要確保工廠環(huán)境溫度在設備制造商的描述范圍內,通常環(huán)境溫度應恒定在22oC左右。
對應于同樣的貼片測試任務,貼片機的冷態(tài)Cpk值較貼片機的熱態(tài)Cpk值要好。通常設備制造商都經(jīng)過嚴格的出廠前測試,熱態(tài)Cpk值是通過將貼片機連續(xù)高速空運行1 h以上后,再按照相同于冷態(tài)時的測試任務進行熱態(tài)Cpk測試,在正常的設備使用中是難以模擬出這樣嚴峻的環(huán)境的。以環(huán)球儀器的Advantis系列貼片機為例,平均熱態(tài)Cpk值要比冷態(tài)Cpk值小約O.2,但是環(huán)球儀器設備出廠的實際熱態(tài)Cpk數(shù)值的常規(guī)要求是要達到1.61即5δ以上才允許機器出廠。
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