由于貼片機(jī)有兩個(gè)主要系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生熱量，一是X－Y－Θ運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，熱源是往復(fù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)摩擦和電動(dòng)機(jī)中電能轉(zhuǎn)化為熱能的部分；二是電氣系統(tǒng)中的功率器件，如電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器、直流電源和變壓器等。這些熱源主要通過(guò)影響X－Y－Θ運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)來(lái)影響設(shè)備貼片位置精度。部分設(shè)備制造商運(yùn)用溫度感應(yīng)器測(cè)量貼片頭的溫度，并運(yùn)用溫度補(bǔ)償?shù)姆绞絹?lái)消除由于環(huán)境溫度和設(shè)備本身的溫度變化對(duì)貼片位置精度帶來(lái)的影響，如圖1所示。

圖1 溫度補(bǔ)償方式示意圖

但是用溫度反饋進(jìn)行調(diào)節(jié)的范圍是有限的，對(duì)于設(shè)備應(yīng)用商來(lái)講，需要注意的是，一定要確保工廠環(huán)境溫度在設(shè)備制造商的描述范圍內(nèi)，通常環(huán)境溫度應(yīng)恒定在22^oC左右。

對(duì)應(yīng)于同樣的貼片測(cè)試任務(wù)，貼片機(jī)的冷態(tài)Cpk值較貼片機(jī)的熱態(tài)Cpk值要好。通常設(shè)備制造商都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的出廠前測(cè)試，熱態(tài)Cpk值是通過(guò)將貼片機(jī)連續(xù)高速空運(yùn)行1 h以上后，再按照相同于冷態(tài)時(shí)的測(cè)試任務(wù)進(jìn)行熱態(tài)Cpk測(cè)試，在正常的設(shè)備使用中是難以模擬出這樣嚴(yán)峻的環(huán)境的。以環(huán)球儀器的Advantis系列貼片機(jī)為例，平均熱態(tài)Cpk值要比冷態(tài)Cpk值小約O.2，但是環(huán)球儀器設(shè)備出廠的實(shí)際熱態(tài)Cpk數(shù)值的常規(guī)要求是要達(dá)到1.61即5δ以上才允許機(jī)器出廠。

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