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[導(dǎo)讀]前者理論是清楚的,但從器件發(fā)展到電路,所需的技術(shù)仍處于發(fā)展之中,要進入到比較普遍的應(yīng)用估計仍需一二十年的時間。至于納米器件,目前多以原子和分子自組裝技術(shù)與微電子超深亞微米加工技術(shù)相結(jié)合的方法進行,特別

前者理論是清楚的,但從器件發(fā)展到電路,所需的技術(shù)仍處于發(fā)展之中,要進入到比較普遍的應(yīng)用估計仍需一二十年的時間。至于納米器件,目前多以原子和分子自組裝技術(shù)與微電子超深亞微米加工技術(shù)相結(jié)合的方法進行,特別是近年來碳納米管的發(fā)展令人注目,在速度、集成度、特別是功耗方面都將有重大突破,但離開實際應(yīng)用可能比硅基量子器件要更遠一些。原文見王陽元院士在“納米CMOS器件”書中寫的序(2004年1月科學(xué)出版社出版)。



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