集成電路生產(chǎn)線(IC production Line)是實(shí)現(xiàn)IC制造的整體環(huán)境，由凈化廠房、工藝流水線和保證系統(tǒng)(供電、純水、氣體純化和試劑組成。IC發(fā)展到VLSI后，加工特征尺寸達(dá)到亞微米級(jí)，集成度上升到106以上，從而對(duì)各道工藝環(huán)節(jié)和制造環(huán)境的顆粒和微污染控制都很嚴(yán)格，IC生產(chǎn)線把相關(guān)的工藝設(shè)備視為一個(gè)整體，在群體內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度的自動(dòng)控制，井保證相應(yīng)的凈化條件。硅片在群體間由機(jī)器人或機(jī)械手傳遞，整個(gè)生產(chǎn)過程實(shí)現(xiàn)了無紙化、在線質(zhì)量檢測(cè)、統(tǒng)計(jì)分析以及信息的實(shí)時(shí)管理。

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